[发明专利]半导体结构及制造其的方法有效
申请号: | 201710057592.4 | 申请日: | 2017-01-26 |
公开(公告)号: | CN107068856B | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 宋福庭;闵仲强;曾元泰;徐晨佑;刘世昌 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/12 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 路勇 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本揭露涉及半导体结构及制造其的方法。具体的,本揭露的一些实施例揭露一种半导体结构,其包括第N金属层;底部电极,其在所述第N金属层上方;磁性穿遂结MTJ,其在所述底部电极上方;顶部电极,其在所述MTJ上方;以及第(N+M)金属层,其在所述第N金属层上方。N以及M为正整数。所述第(N+M)金属层环绕所述顶部电极的侧壁的一部分。还提供一种形成所述半导体结构的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,其包含:第N金属层;底部电极,其在所述第N金属层上方;磁性穿隧结MTJ,其在所述底部电极上方;顶部电极,其在所述MTJ上方;及第(N+M)金属层,其在所述第N金属层上方,N以及M为正整数,其中所述第(N+M)金属层环绕所述顶部电极的侧壁的一部分。
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