[发明专利]热固化性粘接片和半导体装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201680070276.4 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN108291116B 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 森大地;石松朋之 申请(专利权)人: 迪睿合株式会社
主分类号: C09J7/10 分类号: C09J7/10;C09J4/02;C09J11/04;C09J11/06;H01L21/301;H01L21/304
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 童春媛;杨戬
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供可以减少半导体晶片的翘曲,同时减少破片产生的热固化性粘接片、和半导体装置的制造方法。热固化性粘接片具有由树脂组合物形成的热固化性粘接层,所述树脂组合物具有:含有包含(甲基)丙烯酸酯和聚合引发剂的树脂成分和填料的热固化性粘接剂层,(甲基)丙烯酸酯包含固形(甲基)丙烯酸酯和三官能以上的(甲基)丙烯酸酯,树脂成分中的固形(甲基)丙烯酸酯的含有率为55wt%以上,树脂成分中的(甲基)丙烯酸酯的含有率乘以(甲基)丙烯酸酯的每单位分子量的官能团数所得的值的总和为2.7E‑03以上,填料的掺混量相对于树脂成分100质量份为80~220质量份。
搜索关键词: 固化 性粘接片 半导体 装置 制造 方法
【主权项】:
1.热固化性粘接片,其具有由树脂组合物形成的热固化性粘接层,所述树脂组合物含有填料和包含(甲基)丙烯酸酯和聚合引发剂的树脂成分,上述(甲基)丙烯酸酯包含固形(甲基)丙烯酸酯和三官能以上的(甲基)丙烯酸酯,上述树脂成分中的固形(甲基)丙烯酸酯的含有率为55wt%以上,上述树脂成分中的(甲基)丙烯酸酯的含有率乘以上述(甲基)丙烯酸酯的每单位分子量的官能团数所得的值的总和为2.7E‑03以上,上述填料的掺混量相对于树脂成分100质量份为80~220质量份。
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