[发明专利]一种具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法在审
申请号: | 201611237098.8 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN106801258A | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 刘学超;王华杰;孔海宽;忻隽;高攀;施尔畏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C30B29/38 | 分类号: | C30B29/38;C30B29/62;C30B23/00 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)31261 | 代理人: | 曹芳玲,郑优丽 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法,所述具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法,采用物理气相传输法,通过中频感应加热方式将原料AlN加热成气相,通过控制生长温度为1700‑1750℃,控制生长压力为200‑300 Torr,结晶形成六棱柱状的AlN晶须。本发明在较低的温度下,通过控制生长速率获得六棱柱AlN晶须。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 棱柱 氮化 铝晶须 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种具有六棱柱状氮化铝晶须的制备方法,其特征在于,采用物理气相传输法,通过中频感应加热方式将原料AlN加热成气相,通过控制生长温度为1700‑1750℃,控制生长压力为200‑300 Torr,结晶形成六棱柱状的AlN晶须。
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