[发明专利]一种碳化硅沉积设备及其进气装置

摘要

本发明提供了一种碳化硅沉积设备的进气装置，包括MTS储液罐、混合罐和缓冲罐，MTS储液罐上设有氢气输入管道，氢气输入管道开口伸入到MTS液位下方，MTS储液罐的顶部还设有储液罐排气口，储液罐排气口通过第一管道与混合罐的第一进气口相连，混合罐还设有第二进气口，第二进气口用于输入氩气，混合罐设有混合罐排气口，混合罐排气口通过第二管道与缓冲罐的进气口相连，缓冲罐设有缓冲罐排气口，缓冲罐排气口通过第三管道与碳化硅沉积设备的炉体相连。本发明的进气装置，设置混合罐和缓冲罐，工艺气体经过两个罐体之后可以减小压力波动，气体的压力也更容易控制。

主权项

1.一种碳化硅沉积设备的进气装置，其特征在于：包括MTS储液罐(1)、混合罐(2)和缓冲罐(3)，所述MTS储液罐(1)上设有氢气输入管道(11)，所述氢气输入管道(11)开口伸入到MTS液位下方，所述MTS储液罐(1)的顶部还设有储液罐排气口(12)，所述储液罐排气口(12)通过第一管道(51)与所述混合罐(2)的第一进气口(21)相连，所述混合罐(2)还设有第二进气口(22)，所述第二进气口(22)用于输入氩气，所述混合罐(2)设有混合罐(2)排气口，所述混合罐(2)排气口通过第二管道(52)与所述缓冲罐(3)的进气口(31)相连，所述缓冲罐(3)设有缓冲罐排气口(32)，所述缓冲罐排气口(32)通过第三管道(53)与碳化硅沉积设备的炉体(4)相连。