[发明专利]一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法

摘要

本发明公开了一种具有防撞功能的传片机械手及其防撞方法，通过在传片机械手上设置振动传感器芯片采集传片机械手的抓手与硅片碰撞时产生的振动频率，能够有效地采集到碰撞产生的微小冲击力，并能及时传递碰撞信号，通过机械手控制器对振动频率数据进行记录与分析，当振动频率超过设定的碰撞报警阈值时，可通过急停控制回路产生急停控制，并触发传片机械手各轴电机驱动器的紧急制动，使传片机械手停止运动，实现碰撞报警与紧急制动之间的硬互锁，从而实现传片机械手的急停控制。

主权项

1.一种具有防撞功能的传片机械手，其特征在于，所述传片机械手设有：振动传感器芯片，用于采集传片机械手的抓手与硅片碰撞时产生的振动频率，并将采集到的振动频率信号传递给机械手控制器；机械手控制器，用于对振动频率数据进行记录与分析，并在振动频率超过设定的碰撞报警阈值时，将报警信号传递给急停控制回路；其中，通过所述机械手控制器对传片机械手运行过程中各阶段的正常运行频率进行检测和细分，并根据各阶段的正常运行频率的范围设定各阶段的碰撞报警阈值；急停控制回路，用于在接收到报警信号时产生急停控制，并触发传片机械手各轴电机驱动器的紧急制动，实现传片机械手的急停控制。