[发明专利]蚀刻液组合物以及利用它的薄膜晶体管显示板的制造方法在审
| 申请号： | 201610796482.5 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106497569A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 金荣濬;安守民;郑在祐;朴弘植;孙桢翊;吴晞诚;林廷训 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;秀博瑞殷株式公社 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 李盛泉,孙昌浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蚀刻液组合物以及利用它的薄膜晶体管显示板的制造方法。根据本发明的一实施例的蚀刻液组合物可以包含5重量％以上且20重量％以下的硝酸、1重量％以上且15重量％以下的醋酸、0.1重量％以上且5重量％以下的醋酸盐、0.1重量％以上且4重量％以下的含卤化合物及使全部组合物的总重量成为100重量％的水。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 以及 利用 薄膜晶体管 显示 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，包含：相对于蚀刻液组合物总重量，5重量％以上且20重量％以下的硝酸、1重量％以上且15重量％以下的醋酸、0.1重量％以上且5重量％以下的醋酸盐、0.1重量％以上且4重量％以下的含卤化合物及使全部组合物的总重量成为100重量％的水。
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