[发明专利]研磨组合物和使用该研磨组合物的研磨方法

摘要

本发明提供溶解稳定性优异、且能够以高研磨速率进行研磨加工的研磨组合物、和使用该研磨组合物的研磨方法。于是，提供了一种将由选自蓝宝石、碳化硅、氮化镓、氮化铝中的1种以上的材料构成的基板使用含有以下(A)～(E)成分的研磨组合物进行研磨的研磨方法，(A)成分：选自金刚石、氮化硼、碳化硼和碳化硅中的1种以上的磨粒，(B)成分：碳原子数为10以上22以下的脂肪酸，(C)成分：非离子性表面活性剂，(D)成分：有机胺化合物，(E)成分：分散介质。其中，(A)成分的磨粒的平均粒径大于1.0μm且为10.0μm以下，(C)成分的含量为0.30～10质量％，(D)成分相对于(B)成分的摩尔比(D)/(B)为45/55～90/10。

主权项

1.一种研磨组合物，含有以下(A)～(E)成分，(A)成分：选自金刚石、氮化硼、碳化硼和碳化硅中的1种以上的磨粒，含量为0.03～3.0质量％，平均粒径大于1.0μm且为10.0μm以下，(B)成分：碳原子数为10以上22以下的脂肪酸，含量为0.10～10质量％，(C)成分：作为非离子性表面活性剂的聚氧乙烯牛脂烷基胺，含量为0.30～10质量％，(D)成分：有机胺化合物，含量为2.0～15质量％，(E)成分：分散介质，含量为70～95质量％，(D)成分相对于(B)成分的摩尔比(D)/(B)为45/55～90/10，并且，作为(E)成分的所述分散介质为水溶性有机溶剂与水的混合物，水溶性有机溶剂的含量相对于研磨组合物总量为大于50％质量、且为86质量％以下，水的含量相对于研磨组合物总量为3.0质量％以上且低于40质量％，水溶性有机溶剂相对于水的质量比、即水溶性有机溶剂/水为60/40～90/10。