[发明专利]研磨组合物和使用该研磨组合物的研磨方法有效
| 申请号： | 201610291270.1 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN106167691B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 藤本广志 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 李照明;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨组合物 研磨 碳化硅 磨粒 非离子性表面活性剂 有机胺化合物 金刚石 蓝宝石 脂肪酸 分散介质 平均粒径 碳原子数 研磨加工 氮化铝 氮化硼 氮化镓 摩尔比 碳化硼 基板 溶解 | ||
【说明书】：
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