[发明专利]正型感光性硅氧烷树脂组合物有效
| 申请号： | 201610020971.1 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN105785721B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 吕泰勋;金柄郁;尹赫敏;李相勋;黄致容;边正铉;李起赞;朴贤暻;全胜韩 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;G03F7/008;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及正型感光性硅氧烷树脂组合物，包含聚苯乙烯换算重均分子量为1000至20000的硅氧烷类共聚物，其中所述硅氧烷类共聚物在催化条件下，通过使ⅰ)由以下化学式1表示的反应性硅烷及ⅱ)四氯硅烷进行水解及缩聚，并除去未反应单体及催化剂来获得；化学式1：(R |
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| 搜索关键词： | 感光性 硅氧烷 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种正型感光性硅氧烷树脂组合物，其特征在于，包含：a)聚苯乙烯换算重均分子量为1000至20000的硅氧烷类共聚物，该硅氧烷类共聚物在催化条件下，对ⅰ)由以下化学式1表示的反应性硅烷及ii)四氯硅烷进行水解及缩聚，并除去未反应单体及催化剂来获得；b)1,2‑醌二叠氮化合物；以及c)溶剂，化学式1：(R1)nSi(R2)4‑n，在所述化学式1中，R1表示碳原子数为1～10的烷基和碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R1能够分别相同或不同，R2为氯基，n为1～3的整数。
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