[发明专利]正型感光性硅氧烷树脂组合物有效
申请号: | 201610020971.1 | 申请日: | 2016-01-13 |
公开(公告)号: | CN105785721B | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 吕泰勋;金柄郁;尹赫敏;李相勋;黄致容;边正铉;李起赞;朴贤暻;全胜韩 | 申请(专利权)人: | 东进世美肯株式会社 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/004;G03F7/008;H01L51/52 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 硅氧烷 树脂 组合 | ||
本发明涉及正型感光性硅氧烷树脂组合物,包含聚苯乙烯换算重均分子量为1000至20000的硅氧烷类共聚物,其中所述硅氧烷类共聚物在催化条件下,通过使ⅰ)由以下化学式1表示的反应性硅烷及ⅱ)四氯硅烷进行水解及缩聚,并除去未反应单体及催化剂来获得;化学式1:(R1)nSi(R2)4‑n。本发明的正型感光性硅氧烷树脂组合物不仅具有优秀的灵敏度、分辨率、粘结力、透过率及耐热变色性等性能,尤其因具有卓越的耐热性而可以实现低释气,并维持低的水分吸收率,从而可以确保优秀的面板可靠性。
技术领域
本发明涉及正型感光性硅氧烷树脂组合物,更详细地,涉及不仅具有优秀的灵敏度、分辨率、粘结力、透过率及耐热变色性等性能,尤其因具有卓越的耐热性而可以实现低释气(Low Outgassing),并维持低的水分吸收率,从而可以确保优秀的面板可靠性,由此可以在多种显示器中有用地适用于层间绝缘膜、钝化(Passivation)绝缘膜、栅极(Gate)绝缘膜、平坦化膜或堤槽等的正型感光性硅氧烷树脂组合物(positive photosensitivesiloxane resin composition)。
背景技术
为了对配置于层间的配线之间进行绝缘,并提高开口率,在液晶显示器件、有机发光二极管(OLED)显示器件、集成电路器件使用感光性有机绝缘膜。作为液晶显示器件用层间绝缘膜,主要适用丙烯酸类绝缘膜,但存在由耐热性低下引起的释气(Outgassing)问题。并且,作为有机发光二极管显示器件用层间绝缘膜及堤槽(Bank),适用聚酰亚胺,但需要补充灵敏度、粘结力、透过率、耐热变色性等。最近,为了确保有机发光二极管显示器件的面板的长期可靠性,对具有低释气及低的水分吸收率的材料的需求(Needs)不断增加。
因此,最近很大程度上需要基于硅氧烷树脂技术的材料,并且正在活跃地进行着对这种技术的研发。
发明内容
为了解决如上所述的现有技术的问题,本发明的目的在于,提供不仅具有优秀的灵敏度、分辨率、粘结力、透过率及耐热变色性等性能,尤其因具有卓越的耐热性而可以实现低释气,并维持低的水分吸收率,从而可以确保优秀的面板可靠性,由此可以有用地适用于层间绝缘膜、钝化绝缘膜、栅极绝缘膜、平坦化膜或堤槽等的正型感光性硅氧烷树脂组合物、利用上述正型感光性硅氧烷树脂组合物的显示器件的图案形成方法及包含正型感光性硅氧烷树脂组合物的固化体的显示器件。
为了实现上述目的,本发明提供正型感光性硅氧烷树脂组合物,其特征在于,包含:a)聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1000至20000的硅氧烷类共聚物,在催化条件下,对ⅰ)由以下化学式1表示的反应性硅烷及ⅱ)四氯硅烷进行水解及缩聚,并除去未反应单体及催化剂来获得;b)1,2-醌二叠氮化合物;以及c)溶剂,化学式1:(R1)nSi(R2)4-n,在上述化学式1中,R1表示碳原子数为1~10的烷基以及碳原子数为6~15的芳基中的任一种,多个R1可分别相同或不同,R2为氯基,n为1~3的整数。
优选地,上述正型感光性硅氧烷树脂组合物以使固体成分含量达到10~50重量%的方式包含a)100重量份的上述硅氧烷类共聚物;b)5~50重量份的上述1,2-醌二叠氮化合物;以及c)溶剂。
并且,本发明提供显示器件的图案形成方法,上述显示器件的图案形成方法利用上述正型感光性硅氧烷树脂组合物。
并且,本发明提供显示器件,上述显示器件包含上述正型感光性硅氧烷树脂组合物的固化体。
优选地,上述正型感光性硅氧烷树脂组合物的固化体适用为层间绝缘膜、钝化绝缘膜、栅极绝缘膜、栅极平坦化膜或堤槽等。
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