[发明专利]一种基于光敏电阻的加速度传感器有效
| 申请号： | 201610014928.4 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN105548613B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福州睿创纺织科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350029 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于光敏电阻的加速度传感器，包括光遮挡物、横向光路和纵向光路，横向光路和纵向光路垂直交叉形成光面，横向光路和纵向光路都包含有两个以上的光路，光路包含有发光单元和对应的光敏单元，光敏单元用于检测光路的遮挡情况，所述光遮挡物在加速度传感器的不同方向的加速度改变时，光遮挡物改变其在光面内的位置并遮挡不同的光路，所述光敏单元用于传递加速度数据。结构简单成本低，可以方便地定制不同精度的加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光敏 电阻 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于光敏电阻的加速度传感器，包括光遮挡物和横向光路，横向光路包含有发光单元和对应的光敏单元，光敏单元用于检测光路的遮挡情况，其特征在于：还包括纵向光路，横向光路和纵向光路垂直交叉形成光面，横向光路和纵向光路都包含有两个以上的光路，纵向光路也包含有发光单元和对应的光敏单元，该光敏单元同样用于检测光路的遮挡情况，所述光遮挡物在加速度传感器的不同方向的加速度改变时，光遮挡物改变其在光面内的位置并遮挡不同的光路，所述光敏单元用于传递加速度数据，所述光遮挡物在加速度传感器的不同方向的加速度改变时，光遮挡物改变其在光面内的位置的结构为：光遮挡物为球形，所述光面的一侧具有球心在光面另一侧的第一球面结构，所述光遮挡物置于所述光面中并置于第一球面结构上；所述光敏单元为光敏电阻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福州睿创纺织科技有限公司，未经福州睿创纺织科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610014928.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种带准直器的光纤干涉式检波器装置-201710201018.1
- 杨悦;常天英;张瑾;高文智;陈建冬;崔洪亮 - 吉林大学
- 2017-03-30 - 2019-11-12 - G01P15/093
- 一种带准直器的光纤干涉式检波器装置，包括一个半导体激光器、光纤环形器、1×2耦合器、光电探测器和封装箱，其特征在于在封装箱内有一个壳体，在壳体的垂直方向上对称固定第一光纤准直器和第二光纤准直器，壳体内固定一个质量块，质量块上、下表面固定有法拉第旋转镜，质量块中间夹持固定一个弹簧片。本发明专利用两个光纤准直器将不同方向的入射光转换成平行光射出，通过两个质量块的位移变化从而使准直器与法拉第旋转镜之间的垂直距离发生改变，因此两干涉臂信号之间产生光程差，生成干涉信号，提高了测量精度，降低制作难度，同时也节省了大量光纤材料。
- 一种三层悬臂梁差动式光纤光栅加速度传感器-201910625634.9
- 莫文琴;徐黎明;董凯锋;宋俊磊;晋芳 - 中国地质大学（武汉）
- 2019-07-11 - 2019-09-27 - G01P15/093
- 本发明公开了一种三层悬臂梁差动式光纤光栅加速度传感器，包括固定端、第一感知梁、第二感知梁、承重梁、质量块、第一光纤光栅和第二光纤光栅；第一感知梁、承重梁、第二感知梁平行设置在固定端和质量块之间；第一光纤光栅设置在第一感知梁上表面，第二光纤光栅设置在第二感知梁下表面。本发明灵敏度高、表面应变均匀、抗干扰能力强、测量范围较宽、结构简单易于制作，可以应用在一些大型土木工程结构健康监测、油气田勘探、大型仪器设备运行状况检测等领域。
- 光纤振动和加速度传感器-201880011200.3
- 克劳斯·伦斯申 - 魏德曼控股有限公司
- 2018-02-14 - 2019-09-20 - G01P15/093
- 本发明涉及光纤振动和加速度传感器，其包括介质镜和连接到耦合器的第一光导纤维，所述耦合器还经由第二光导纤维连接到光源以及从入射光产生电压的检测器。所述传感器具体通过其简单的实现方式表征。为此目的，所述第一纤维的自由端部区域与所述介质镜间隔开，使得所述介质镜的边缘位于所述第一纤维的出射光中。在未激励状态下，从入射在所述第一纤维的端部上的光产生的所述检测器的电压小于当所述第一纤维的孔径锥完全被所述介质镜覆盖并因此有最大反射时从所述检测器产生的电压。所述电压是所述光纤振动和加速度传感器的度量。因此，纤维本身用作振动敏感元件。
- 一种不等臂长迈克尔逊光纤加速度计及其传感方法-201810149158.3
- 张敏;易多;邱晓康;何向阁;刘飞;古利娟 - 北京大学
- 2018-02-13 - 2019-09-13 - G01P15/093
- 本发明公开了一种不等臂长迈克尔逊光纤加速度计及其传感方法。本发明采用1x3光纤耦合器，三根输出光纤的长度成等差数列，末端分别连接第一至第三法拉第旋镜，形成两个等效迈克尔逊干涉仪，双脉冲入射两个等效迈克尔逊干涉仪产生两个干涉脉冲，相位解调并将解调后的相位相减实现对共模噪声的抑制，并无需附加的参考加速度计，同时具有更好的噪声抑制效果，因而降低了传感系统成本并压缩了传感系统体积，这一优势在准分布式多基元传感网络优势体现尤为明显；此外，本发明基于不等臂长的迈克尔逊干涉原理，巧妙采用推挽结构，对轴向的振动响应产生二级放大，并对横向的振动扰动产生二级抑制，因而兼具更高主轴灵敏度，更低横向串扰等优点。
- 基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法-201710386999.1
- 卢乾波;白剑;汪凯巍;潘德馨 - 浙江大学
- 2017-05-26 - 2019-08-30 - G01P15/093
- 本发明公开了一种基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法。所述系统主要由两个波长差为Δλ的激光器、一个偏振分光棱镜、两个分光棱镜、四个四分之一波片、一个平面反射镜、两个偏振片、一个超窄带滤波片、四个高灵敏度光电探测器、一个表面镀膜的压电陶瓷块、一个由敏感质量块、悬臂梁和基底构成的敏感结构、信号发生器、信号处理电路及上位机组成。本发明利用双波长产生的合成波长干涉信号提升加速度测量系统的测量量程，解决了高灵敏度加速度计的相位模糊问题，同时利用超窄带滤波片采得单波长干涉信号，并引入了相位调制解调技术，在扩大测量量程的同时保证系统拥有单波长干涉测量的高精度。
- 一种基于电磁力驱动的光学加速度计-201910212177.0
- 冯丽爽;周震;张宇;高山;张天航 - 北京航空航天大学
- 2019-03-20 - 2019-06-11 - G01P15/093
- 本发明公开了一种基于电磁力驱动的光学加速度计，包括轭铁、磁铁、磁极片、线圈、质量块、悬臂梁、反射面、光栅、玻璃片、光源、第一探测器、第二探测器、第三探测器、U型外壳、跨阻放大器、A/D转换电路、FPGA和D/A转换电路。本发明由于采用光信号对加速度进行检测，可以有效降低电磁干扰对加速度测量精度的影响，抗干扰能力强，可靠性高，稳定性好；基于电磁力驱动的闭环控制技术，使反馈力与反馈电压呈线性关系，在简化闭环控制算法的同时，提高了光学加速度计的闭环检测精度；同时电磁力驱动模块充分利用了磁体磁场，大幅降低系统的闭环驱动功耗。
- 基于相移光栅光纤激光器的加速度测定探测头及装置-201611003735.5
- 周亚亭;肖虹;茆锐;沈玉乔 - 常州工学院
- 2016-11-15 - 2019-06-07 - G01P15/093
- 本发明公开了一种基于相移光栅光纤激光器的加速度测定探测头及装置。该探测头由两个带有真实相移或等效相移的光纤光栅通过增益光纤串联而成，两个光纤光栅在加载预应变的情况下，被固定在一个热膨胀系数为零或可忽略不计的支架上；第一个光纤光栅所在平面和光纤走向，与第二个光纤光栅所在平面相垂直。该装置包括泵浦半导体激光器、泵浦光隔离器、可调光衰减器、光探测器、频谱仪以及所述探测头。本发明可消除因温度变化而导致光栅周期波动对测量结果的影响；增大了测量结果的灵敏度；降低了光纤光栅的加工难度和制造成本；若使一个光纤光栅的激射频率始终小于另一个，则得到的两个激光拍频信号的频率大小能同时反映测定的加速度大小和方向。
- 一种高精度激光干涉加速度计-201910016980.7
- 李祝;黄祥青;段会宗;骆颖欣;涂良成;叶贤基;覃璇 - 中山大学
- 2019-01-08 - 2019-04-26 - G01P15/093
- 本发明公开了一种高精度激光干涉加速度计，包括固定框架、激光器、第一干涉测量光路、第二干涉测量光路、质量块、第一高反膜、第二高反膜、磁吸复位装置以及数字反馈电路；所述数字反馈电路基于第一干涉测量光路以及第二干涉测量光路中干涉信号的相位的变化，通过差分形式计算质量块的位移及加速度，然后通过控制磁吸复位装置使质量块复位。由于形成了两套干涉测量光路并通过差分形式输出进行测量加速度，将质量块的位移信号放大了一倍，抑制了环境、激光频率等共模噪声的影响，有效地提高了加速度计的测量精度。
- 一种高灵敏度光纤光栅加速度传感器-201821055163.X
- 李剑芝;赵德胜;许红彬;孙宝臣;杜彦良;赵维刚;王莽 - 石家庄铁道大学
- 2018-07-04 - 2019-04-23 - G01P15/093
- 本实用新型提供了一种高灵敏度光纤光栅加速度传感器，属于振动监测技术领域。包括刚性梁和平衡弹簧，刚性梁的平衡位置与测量基板A基本平行或与测量基板B基本垂直，刚性梁的一端通过转轴和与测量基板A或测量基板B固定连接的架体铰接，刚性梁的另一端固定有质量块；刚性梁或质量块的一侧设有使刚性梁处于平衡位置的平衡弹簧；所述刚性梁的一侧或两侧共设有一根或两根光纤光栅；质量块为铁、钢材、铜、银、金、铂金金属等材质。光纤光栅能直接感知刚性梁的振动信息。本实用新型显著提高了传感器的灵敏度，同时能有效抑制加速度传感器的横向灵敏度，结构简单、耐用、不易损坏、动态误差小、测量准确、灵敏度高、精度高、效率高。
- 一种全封闭式光阱传感控制单元及其制作方法-201710087917.3
- 胡慧珠;傅振海;佘玄;舒晓武;刘承 - 浙江大学
- 2017-02-18 - 2019-04-16 - G01P15/093
- 本发明公开了一种全封闭式光阱传感控制单元及其制作方法。全封闭式光阱传感控制单元包括储存微球的微型通腔、用于固定和操作微型通腔的微型操作棒以及带有通道和通槽的基底。基底上的通道用于固定和对准两根单模光纤。基底上的通槽用于固定和存放微型操作棒。制作方法包括微型通腔的制作，基底的制备，微球的封装和整体对准与封装四个步骤。本发明利用微型通腔限制微球运动范围，提高了微球的捕获效率，便于对微球进行重复捕获，同时隔绝了外界污染和影响。
- 一种精度可调的加速度传感器-201611208757.5
- 不公告发明人 - 鄢碧珠
- 2015-06-08 - 2019-03-12 - G01P15/093
- 本发明提供一种精度可调的加速度传感器，包括光遮挡物、横向光路和纵向光路，横向光路和纵向光路垂直交叉形成光面，横向光路和纵向光路都包含有两个以上平行且等距的光路，光路包含有发光单元和对应的光敏单元，光敏单元用于检测光路的遮挡情况，所述光敏单元用于传递加速度数据。本发明结构简单成本低，可以方便地改变加速度传感器的精度。
- 基于微悬臂投影的光电式加速度传感器-201610382181.8
- 钱林茂;汪红波;蒋淑兰;李斌;余丙军;陈磊 - 西南交通大学
- 2016-06-01 - 2019-01-15 - G01P15/093
- 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成；其特征在于：所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔；空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂；且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长；且结构简单，体积小，成本低，易于批量化生产。
- 一种非金属挠性整体摆-201810817770.3
- 张习文;赵坤帅;梁璞;李鹏飞;杨卫平;王晓勇;孙继奕 - 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
- 2018-07-24 - 2019-01-04 - G01P15/093
- 本发明公开一种非金属挠性整体摆，包括动片(3)、定片(1)、连接动片(3)和定片(1)的挠性支承梁(2)、和光学位移传感器，所述光学位移传感器包括光源(5)、光电接收器(6)及位于光源(5)和光电接收器(6)之间的可动光窗(4)，所述可动光窗(4)固定在动片(3)上，动片(3)和可动光窗(4)构成绕挠性支承梁(2)摆动的摆质量。在本发明的非金属挠性整体摆中，通过将光学位移检测器件集成在非金属挠性整体摆上，应用于加速度测量，光学位移检测传感器为线位移传感器，仅敏感可动光窗安装位置的特定方向上的位移变化，因此受摆片变形的影响较小，可以实现更高输出稳定性的加速度计。
- 一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计-201811102444.0
- 杨波;郭鑫;李成 - 东南大学
- 2018-09-20 - 2019-01-04 - G01P15/093
- 本发明公开了一种基于半球微纳腔机械光学耦合的高精度光机加速度计，包括：上层平面腔硅微结构、中层半球腔硅微结构以及下层布有电极引线的玻璃基底；上层结构通过环形固定锚点的上端键合在中层结构之上，中层结构通过环形固定锚点的下端键合在下层结构之上；上层结构包括微纳光纤、平面腔、上层抗反射涂层、上层平面镜面涂层、绝缘层、反馈电极以及间距调整电极；中层结构包括半球腔质量块、下层抗反射涂层、下层半球形镜面涂层、环形固定锚点以及若干弹性悬臂梁；下层结构包括反馈电极、间距调整电极、信号引线以及玻璃衬底。本发明采用光学信号作为微加速计的测量信号，并采用了半球形的光学微纳腔，灵敏度高、动态范围大。
- 一种哑铃滑块式光纤加速度传感器及其使用方法-201811172217.5
- 胡浩;钟丽琼;张滔;王廷均;鲁文平 - 贵阳学院
- 2018-10-09 - 2018-12-18 - G01P15/093
- 本发明提供一种哑铃滑块式光纤加速度传感器及其使用方法，壳体内沿长度方向依次开设有三个腔室，中部腔室的两端分别开设有与两端腔室相连通的通孔，哑铃式滑块中部的横杆主体设置于中部腔室内，横杆主体的中部套设固定有环形挡块，环形挡块两端的横杆主体上分别套设有弹簧，横杆主体的两端分别经通孔伸至两端腔室内，横杆主体一端凸起部的外侧固定有反光片，且该凸起部所在腔室的内壁上，正对反光片处开设有光纤孔，光纤束由壳体的外部伸至光纤孔内，光纤束包括入射光纤和接收光纤。以解决现有加速度传感器在很多场合并不适用，实用性不强，无法满足实际加速度测量要求的问题。本发明属于光纤传感技术领域。
- 一种钟摆式光纤加速度传感器及其使用方法-201811172223.0
- 胡浩;钟丽琼;邹江河;浦创;王羽 - 贵阳学院
- 2018-10-09 - 2018-12-18 - G01P15/093
- 本发明提供一种一种钟摆式光纤加速度传感器及其使用方法，包括传感器探头、光电转换器和信号处理器，光源设置于光纤的一端用于产生光纤信号，光源发出的光信号耦合进入到光纤内，经Y型耦合器后分为入射光纤和参考光纤，传感器探头内的接收光纤的接收端面分为光纤接收部和非光纤接收部，所述转筒内还固定有遮光片，所述接收光纤和参考光纤的另一端分别连接有光电转换器，且光电转换器均与信号处理系统相连。以解决现有加速度传感器在很多场合并不适用，实用性不强，无法满足实际加速度测量要求的问题。本发明属于光纤传感技术领域。
- 一种高灵敏度光纤光栅加速度传感器-201810726078.X
- 李剑芝;赵德胜;许红彬;孙宝臣;杜彦良;赵维刚;王莽 - 石家庄铁道大学
- 2018-07-04 - 2018-12-11 - G01P15/093
- 本发明提供了一种高灵敏度光纤光栅加速度传感器，属于振动监测技术领域。包括测量基板A或测量基板B、刚性梁和平衡弹簧，所述刚性梁的平衡位置与测量基板A基本平行或与测量基板B基本垂直，刚性梁的一端通过转轴和与测量基板A或测量基板B固定连接的架体铰接，刚性梁的另一端固定有质量块；刚性梁或质量块的一侧设有使刚性梁处于平衡位置的平衡弹簧；所述刚性梁的一侧或两侧共设有一根或两根光纤光栅；当测量基板A或测量基板B随被测件振动时，光纤光栅能直接感知刚性梁的振动信息。本发明显著提高了传感器的灵敏度，同时能有效抑制加速度传感器的横向灵敏度，结构简单、耐用、不易损坏、动态误差小、测量准确、灵敏度高、精度高、效率高。
- 基于振动耦合的宽谱高灵敏度光学振动传感器-201810895747.6
- 吕昌贵;祁正青;胡亮;钟嫄;崔一平 - 东南大学
- 2018-08-07 - 2018-12-07 - G01P15/093
- 本发明涉及一种基于振动耦合的宽谱高灵敏度光学振动传感器。该振动传感器包括激光器(1)、透镜(2)、透射式光栅(3)、振动耦合拾振单元(4)、光电探测器(5)；透射式光栅被刚性固定在振动耦合拾振单元的振动带宽被拓展的梁上(中间位置梁)，其位移方向垂直于激光器的输出光路；振动耦合拾振单元包括多个相互耦合的悬臂梁；激光器发出的激光经过透镜汇聚后垂直入射至光栅，当基座存在振动时，透射式光栅与激光光路在垂直方向上产生相对运动，透过光栅的出射光携带相对位移信号，经光电探测器探测，结合已知的拾振单元中间梁频响特性可计算出振动信息。本发明具有测量频谱宽、灵敏度高、结构简单、抗干扰能力强以及成本低等优点。
- 基于光栅衍射的加速度传感器-201820467750.3
- 戴瑞萍;陆颢瓒;王其鹏;王德波 - 南京邮电大学
- 2018-03-30 - 2018-12-04 - G01P15/093
- 本实用新型公开了基于光栅衍射的加速度传感器，该加速度传感器由所述加速度传感器的结构主要由衍射光源、砷化镓太阳能电池阵以及外围电路多通道ADC组成；其中，衍射光源由长波光源、遮光板、光栅和透镜组成，采用光源外壳将其集装在一起，其中长波光源的四周采用弹簧将其固定在光源外壳内部；当传感器运动时，由于惯性长波光源随之运动，衍射在太阳能电池阵列上的条纹随之移动。根据光伏效应，产生相应变化的光电流。通过ADC外围电路进行检测可以得传感器的运动情况。此加速度传感器具有精度高、灵敏度高等优点。
- 一种加速度传感器-201510743000.5
- 林碧琴 - 郑建钦
- 2015-06-08 - 2018-08-24 - G01P15/093
- 本发明提供一种加速度传感器，包括光遮挡物、横向光路和纵向光路，横向光路和纵向光路垂直交叉形成光面，横向光路和纵向光路都包含有两个以上的光路，光路包含有发光单元和对应的光敏单元，光敏单元用于检测光路的遮挡情况，所述光遮挡物在加速度传感器的不同方向的加速度改变时，光遮挡物改变其在光面内的位置并遮挡不同的光路，所述光敏单元用于传递加速度数据。本发明加速度传感器结构简单成本低，可以方便地定制不同精度的加速度传感器。
- 基于光栅衍射的加速度传感器-201810293350.X
- 戴瑞萍;陆颢瓒;王其鹏;王德波 - 南京邮电大学
- 2018-03-30 - 2018-07-20 - G01P15/093
- 本发明公开了基于光栅衍射的加速度传感器，该加速度传感器由所述加速度传感器的结构主要由衍射光源、砷化镓太阳能电池阵以及外围电路多通道ADC组成；其中，衍射光源由长波光源、遮光板、光栅和透镜组成，采用光源外壳将其集装在一起，其中长波光源的四周采用弹簧将其固定在光源外壳内部；当传感器运动时，由于惯性长波光源随之运动，衍射在太阳能电池阵列上的条纹随之移动。根据光伏效应，产生相应变化的光电流。通过ADC外围电路进行检测可以得传感器的运动情况。此加速度传感器具有精度高、灵敏度高等优点。
- 光纤式加速度传感器-201680051978.8
- M.维尔诺 - 西门子公司
- 2016-09-06 - 2018-04-20 - G01P15/093
- 本发明涉及一种光纤式加速度传感器(10)，其具有‑光学纤维(11、35、50)，所述光学纤维具有自由端部，其中，所述自由端部在加速度影响下产生振动，‑光源，所述光源用于在纤维(11、35、50)的背离自由端部的端部处将可见的、紫外的或者红外的光线发射到光学纤维(11、35、50)中，‑镜子(14、24、45)，所述镜子布置用于将部分从自由端部射出的光线反射到光学纤维(11、35、50)中，‑用于接收纤维(11、35、50)的背离自由端部的端部处的反射光线的探测装置，其中，‑光学纤维(11、35、50)的纤芯在自由端部中具有布拉格光栅。
- 脉冲微机械加速度传感器及其测量加速度的方法-201510040624.0
- 王晨;白剑;吴阳阳 - 浙江大学
- 2015-01-27 - 2018-04-10 - G01P15/093
- 本发明公开了一种脉冲微机械加速度传感器及其测量加速度的方法，该传感器包括四组发射接收装置、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块；每组发射接收装置包括光源、分束器、两个红外光电探测器和两个聚焦透镜组。本发明依据伍德异常现象中的一种特殊情况，即精确控制两层光栅间隔在1/5的波长量级时，调整光栅的周期、占空比等参数，两层光栅由于加速度对质量块牵引产生位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，比一般的伍德异常光强变化平缓曲线有更高的斜率，能够极大地放大微小位移的信号，从而根据位移测量加速度。本发明扩大了动态范围，在军事领域有很广泛应用前景。
- 组合光栅微机械加速度传感器及其测量加速度的方法-201510040669.8
- 王晨;白剑;黄潇 - 浙江大学
- 2015-01-27 - 2018-04-10 - G01P15/093
- 本发明公开了一种组合光栅微机械加速度传感器及其测量加速度的方法，该传感器包括四组发射接收装置、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块。本发明大大缩小了系统的体积，而且引入了梳状电极、电容平板作为静电力回复闭环器件，能够精确对位移进行探测，扩大了探测器的动态范围；通过一组光栅产生的脉冲式光强变化信号来锁定另一组光栅产生的平缓光强变化信号斜率最大的位置，从而测量由于加速度牵引质量块所产生的位移；实现了传感系统的小型化、高精度，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。
- 光纤光栅加速度传感器的波长解调系统及波长解调方法-201711056891.2
- 许雪梅;王会海;尹建璟;丁一鹏;尹林子 - 中南大学
- 2017-10-27 - 2018-03-27 - G01P15/093
- 本发明公开了一种光纤光栅加速度传感器的波长解调系统，宽带光源光经光隔离器进入可调谐F‑P滤波器，锯齿波信号发生器产生锯齿波信号驱动可调谐F‑P滤波器；可调谐F‑P滤波器输出信号进入耦合器并分为两路，一路通过F‑P标准具和第一光电探测器，另一路通过光环形器、第一参考光栅、第二参考光栅和光纤光栅加速度传感器，再反射经光环形器进入第二光电探测器；数据采集模块采集光信号并上传；上位机进行波长解调。本发明还公开了所述的波长解调系统的波长解调方法，包括锯齿波输入可调谐F‑P滤波器；对F‑P标准具通道和光纤光栅加速度传感器的光谱进行采集、小波去噪、寻峰计算和波长解调。本发明的波长解调精度高且简单可靠。
- 超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法-201610331559.1
- 卢乾波;白剑;汪凯巍;焦旭芬;韩丹丹;陈佩文 - 浙江大学
- 2016-05-18 - 2018-02-16 - G01P15/093
- 本发明公开了一种超高加速度位移灵敏度的敏感结构、加速度计及制造方法。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹槽的衬底相连，蛇形梁型悬臂梁主要由股梁、第一蜿蜒梁、第二蜿蜒梁、胫梁的四个直梁依次相连构成，敏感质量块和硅基底均采用SOI基片制作，悬臂梁为SOI基片中的单晶硅器件层制作。本发明实现了超高的加速度位移灵敏度，并且仍能保证较小的离轴串扰，微加工工艺可与IC工艺兼容，流片率高，易于大批量制作，配合基于光栅干涉腔的位移读出系统可实现超高的加速度测量灵敏度和精度。
- 一种基于双波长干涉的加速度测量系统-201720602516.2
- 潘德馨;卢乾波;白剑;汪凯巍 - 浙江大学
- 2017-05-26 - 2018-01-12 - G01P15/093
- 本实用新型公开了一种基于双波长干涉的加速度测量系统。所述系统主要由两个波长差为Δλ的激光器、一个偏振分光棱镜、两个分光棱镜、四个四分之一波片、一个平面反射镜、两个偏振片、一个超窄带滤波片、四个高灵敏度光电探测器、一个表面镀膜的压电陶瓷块、一个由敏感质量块、悬臂梁和基底构成的敏感结构。本实用新型利用双波长产生的合成波长干涉信号提升加速度测量系统的测量量程，解决了高灵敏度加速度计的相位模糊问题，同时利用超窄带滤波片采得单波长干涉信号，在扩大测量量程的同时保证系统拥有单波长干涉测量的高精度。
- 一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计-201720766971.6
- 耿安兵;姚远;卢乾波;郭劼;王海涛;董亭亭;白剑 - 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
- 2017-06-28 - 2018-01-09 - G01P15/093
- 本实用新型涉及一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，包括微纳光腔组件和激光探测组件，微纳光腔组件包括压电薄膜、微机械放大器、微纳光栅和引线，激光探测组件包括激光器、衰减片、衍射光探测器、基础光探测器、环境光探测器、偏振片、四分之一波片和分光镜，激光器发出激光束分为两束激光，一束激光射入基础光探测器，另一束激光入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。该加速度计能超高加速度‑位移转换，抑制了串扰，灵敏度高。
- 一种迈克尔逊干涉式光纤加速度传感器-201720370735.2
- 罗志会;陈思;王凤钧;陈小刚;潘礼庆;杨先卫;肖焱山;王习东 - 三峡大学
- 2017-04-10 - 2018-01-05 - G01P15/093
- 一种迈克尔逊干涉式光纤加速度传感器，包括筒体、上限位销、第一准直器、光耦合器、下限位销、质量块、第二准直器、环形磁体；光隔离器、激光光源、光电探测器和相位解调电路。本实用新型将质量块设计成迈克尔逊干涉仪自由空间光路的一部分，利用静磁排磁通效应将质量块置于悬浮状态，将外界加速度变化转化为质量块的微小位移，再通过差分式光纤迈克尔逊干涉装置检测质量块位移引起的相位变化，实时解调传感器的加速度变化。该传感器采用磁悬浮方式规避机械阻尼的影响，引入双反射法拉第旋光结构消除偏正衰落的影响，具有灵敏度高，稳定性好，体积小，制作简单等优点，具有较好的应用前景。
- 一种高灵敏度的单保偏光纤干涉式加速度传感系统-201621141540.2
- 王阳阳;陈建冬;高文智;赵恩才;崔洪亮;李亚;王旭 - 吉林大学
- 2016-10-20 - 2017-12-26 - G01P15/093
- 本实用新型公开了一种高灵敏度的单保偏光纤干涉式加速度传感系统，适用于光纤传感领域。本系统采用单光路的设计，通过光纤干涉原理实现对加速度的测量，包括光源、隔离器、环形器、50％透射50％反射透镜、保偏传感光纤、加速度增敏及转换传感器、反射率高于99％的反射镜、光电探测器以及用来解调加速度的解调模块。使用的光纤都是保偏光纤，可以消除偏振态对干涉的影响。一种高灵敏度的单保偏光纤干涉式加速度传感系统能够准确的测量出加速度的大小。该系统具有结构简单、灵敏度高、测量动态范围宽、不易受环境影响等优点。
- 专利分类
