[发明专利]反熔丝编程电压的受控修改有效
申请号: | 201580080336.6 | 申请日: | 2015-06-25 |
公开(公告)号: | CN107667426B | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | X·童;W·M·哈菲兹;Z·马;P·白;C-H·简;陈占平 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L27/112;G11C17/16 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈松涛;王英 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了反熔丝编程电压的受控修改。在一个示例中,反熔丝电路形成在衬底上,包括反熔丝电路的栅极区。将分子注入到栅极区中以损坏栅极区的结构。电极形成在栅极区之上以将反熔丝电路连接到其它部件。 | ||
搜索关键词: | 反熔丝 编程 电压 受控 修改 | ||
【主权项】:
一种方法,包括:在衬底上形成反熔丝电路,在衬底上形成反熔丝电路包括形成所述反熔丝电路的栅极区;将分子注入到所述栅极区中以损坏所述栅极区的结构;在所述栅极区之上形成电极以将所述反熔丝电路连接到其它部件。
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