[发明专利]用于氮化铝(ALN)PVD工艺的气冷的最小接触面积(MCA)的静电吸盘(ESC)有效
| 申请号： | 201580063578.4 | 申请日： | 2015-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN107002222B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·T·韦斯特;诺吉·A·贾金德拉;桑德拉贾·吉姆布林甘姆 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/67;H01L21/683;H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供本公开内容的实施方式，包含一种静电吸盘组件、一种处理腔室和一种保持基板温度的方法。在一个实施方式中，提供有静电吸盘组件，静电吸盘组件包含静电吸盘、冷却板和气体箱。冷却板包含形成于冷却板中的气体通道。气体箱可操作以控制通过气体通道的冷却气体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氮化 aln pvd 工艺 气冷 最小 接触 面积 mca 静电 吸盘 esc | ||
【主权项】：
暂无信息
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