[发明专利]研磨用组合物及研磨方法在审
| 申请号： | 201580052783.0 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN106687554A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 石田康登 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供在包含多晶硅的基板的研磨中能抑制多晶硅的研磨速度、选择性地对除多晶硅以外的硅化合物等、尤其是氮化硅进行研磨的研磨用组合物及研磨方法。作为研磨用组合物，使用含有磨粒、有机酸、及前述有机酸的共轭碱的研磨用组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福吉米株式会社，未经福吉米株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580052783.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
