[发明专利]用于外延腔室的衬垫

摘要

本文公开的实施方式描述一种衬垫组件，该衬垫组件包括多个单独分开的气体通路。该衬垫组件提供跨正受处理的基板上的流动参数的控制，这些参数诸如流速、密度、方向与空间位置。利用根据本实施方式的衬垫组件，跨正受处理的基板的工艺气体可特定地经调整以用于单个的工艺。

主权项

1.一种衬垫组件，包括：上衬垫，所述上衬垫包括：圆筒状上主体，所述圆筒状上主体具有：外表面与内表面，所述内表面形成处理空间的壁；多个上入口，所述多个上入口形成为与所述圆筒状上主体相连；上排气通口，所述上排气通口定位在所述多个上入口对面；上交叉流通口，所述上交叉流通口定位成与所述上排气通口不平行；和下衬垫，所述下衬垫包括：圆筒状下主体，所述圆筒状下主体具有：多个下入口，所述多个下入口形成为与所述圆筒状下主体相连，所述多个下入口与所述多个上入口一同界定多个气体通路；下排气通口，所述下排气通口流体连接所述上排气通口；下交叉流通口，所述下交叉流通口流体连接所述上交叉流通口；以及热感测通口，所述热感测通口与所述下交叉流通口分隔。