[发明专利]用于外延腔室的衬垫

权利要求书

1.一种衬垫组件，包括：

上衬垫，所述上衬垫包括：

圆筒状上主体，所述圆筒状上主体具有：

外表面与内表面，所述内表面形成处理空间的壁；

多个上入口，所述多个上入口形成为与所述圆筒状上主体相连；

上排气通口，所述上排气通口定位在所述多个上入口对面；

上交叉流通口，所述上交叉流通口定位成与所述上排气通口不平行；和

下衬垫，所述下衬垫包括：

圆筒状下主体，所述圆筒状下主体具有：

多个下入口，所述多个下入口形成为与所述圆筒状下主体相连，

所述多个下入口与所述多个上入口一同界定多个气体通路；

下排气通口，所述下排气通口流体连接所述上排气通口；

下交叉流通口，所述下交叉流通口流体连接所述上交叉流通口；

以及

热感测通口，所述热感测通口与所述下交叉流通口分隔。

2.如权利要求1所述的衬垫组件，其中所述热感测通口、所述下交叉流通口、所述下排气通口、与所述多个气体通路在所述内表面处位于共用平面。

3.如权利要求2所述的衬垫组件，其中所述下交叉流通口具有一定向，用以引导所述共用平面外的气流。

4.如权利要求1所述的衬垫组件，其中所述多个上入口具有入口与出口，所述入口穿过所述外表面而形成，且所述出口穿过所述内表面而形成，其中所述入口与所述出口彼此不共平面。

5.如权利要求4所述的衬垫组件，其中所述入口至少一个流体连接至超过一个所述出口，或者其中所述出口至少一个流体连接至超过一个所述入口。

6.如权利要求1所述的衬垫组件，其中所述下交叉流通口定位在0度位置处，且所述多个下入口的中点定位在90度位置处，所述位置是从所述下交叉流通口的对分线量起。

7.如权利要求6所述的衬垫组件，其中所述热感测通口定位在5度位置处，所述位置是从所述对分线量起。

8.如权利要求1所述的衬垫组件，其中所述多个下入口产生多个流动区域，所述流动区域彼此平行，且垂直于来自所述下交叉流通口的对分线。

9.一种衬垫组件，包括：

上衬垫，所述上衬垫包括：

圆筒状上主体，所述圆筒状上主体具有：

上突出部；

多个上入口，所述多个上入口形成为与所述圆筒状上主体相连；

上排气通口，所述上排气通口定位成平行于所述多个上入口；和上交叉流通口，所述上交叉流通口定位成垂直于所述上排气通口；

以及

下衬垫，所述下衬垫包括：

圆筒状下主体，所述圆筒状下主体具有接收槽以接收所述上突出部；

多个下入口，所述多个下入口形成为与所述圆筒状主体相连，所述多个下入口与所述多个上入口一同界定多个气体通路；

下排气通口，所述下排气通口流体连接所述上排气通口；

下交叉流通口，所述下交叉流通口流体连接所述上交叉流通口；以及

热感测通口，所述热感测通口与所述下交叉流通口间隔开。

10.如权利要求9所述的衬垫组件，其中所述热感测通口、所述交叉流通口、所述排气通口、与所述多个上入口具有共用平面。

11.如权利要求9所述的衬垫组件，其中所述多个下入口不与所述多个上入口共平面。

12.如权利要求9所述的衬垫组件，其中所述交叉流通口定位在0度位置处，且所述多个气体通路的中点定位在90度位置处，所述位置是从所述交叉流通口的对分线量起。

13.如权利要求12所述的衬垫组件，其中所述热感测通口定位在5度位置处，所述位置是从对分线量起且位在外周边处。