[发明专利]抗反射涂料组合物及其方法

摘要

本发明涉及一种新的吸收性抗反射涂料组合物，其包含新的可交联的聚合物，该聚合物包含至少一种具有结构(1)的重复单元(A)、至少一种具有结构(2)的重复单元(B)和至少一种具有结构(3)的重复单元(C)。其中D是直接价键或者C(R₁)(R₂)亚甲基结构部分，其中R₁和R₂独立的是H、C₁‑C₈烷基、C₃‑C₂₄环烷基或者C₆‑C₂₄芳基；Arⁱ、Arⁱⁱ、Arⁱⁱⁱ和Ar^iv独立的是苯系和萘系结构部分，R₃和R₄独立的是氢或者C₁‑C₈烷基；和R5和R6独立的是氢或者C₁‑C₈烷基；和溶剂。本发明还涉及使用该新的抗反射涂料组合物形成图像的方法。

主权项

1.一种抗反射涂料组合物，其包含：i)可交联的聚合物，其包含至少一种具有结构(1)的重复单元A、至少一种具有结构(2)的重复单元B和至少一种具有结构(3)的重复单元C其中D是直接价键或者C(R₁)(R₂)亚甲基结构部分，其中R₁和R₂独立地是H、C₁‑C₈烷基、C₃‑C₂₄环烷基或者C₆‑C₂₄芳基；Arⁱ、Arⁱⁱ、Arⁱⁱⁱ和Ar^iv独立地是苯系或萘系结构部分，R₃和R₄独立地是氢、C₁‑C₈烷基或者C₁‑C₈烷氧基；R₅和R₆独立地是氢、C₁‑C₈烷基或者C₁‑C₈烷氧基；和，ii)溶剂。