[发明专利]一种制备Cu掺杂硫化铟薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种制备Cu掺杂硫化铟薄膜的方法，其是采用真空蒸发法，在两层硫化铟薄膜之间蒸发一层很薄的Cu，然后通过热退火使得Cu扩散到硫化铟薄膜中，达到制备Cu掺杂硫化铟薄膜的目的。本发明可以通过控制蒸发Cu的量来控制掺杂浓度，从而起到不同程度降低薄膜电阻率的目的。本发明制备的薄膜可用于作为太阳能电池的缓冲层。

主权项

 一种制备Cu掺杂硫化铟薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1）：对透明玻璃片进行清洁处理，即将玻璃片依次在去离子水、丙酮和乙醇中进行超声处理，然后取出、烘干；步骤2）：将步骤1）所得烘干的玻璃片置于真空蒸发炉的蒸发腔内；将硫化铟粉末置于蒸发舟中，再放进蒸发腔内；将蒸发腔抽真空后缓慢加电流对蒸发舟进行加热，至蒸发舟内的硫化铟粉末完全蒸发，此时电流为140A，然后停止蒸发；步骤3）：将Cu颗粒在盐酸中清洗，然后在去离子水中洗净，再于乙醇溶液中超声处理后，取出，迅速风干，然后放置于蒸发舟内；将放有Cu颗粒的蒸发舟放入蒸发腔内，将蒸发腔抽真空后缓慢加电流对蒸发舟进行加热，当电流加到110A时，保持电流直到Cu颗粒全部蒸发完后停止蒸发；步骤4）：再取硫化铟粉末置于蒸发舟中，再放入蒸发腔内，抽真空后缓慢加电流对蒸发舟进行加热，直到蒸发舟内的硫化铟粉末完全蒸发后停止蒸发；步骤5）：将步骤4）制得的样品放在石英舟上，再放入石英管中，通入惰性气体，然后在管式炉里将样品在惰性气体的保护下进行热退火处理；步骤6）：退火结束之后，取出石英管，继续通入惰性气体直到石英管降为室温，然后将样品取出，即得所述Cu掺杂的硫化铟薄膜。