[发明专利]用于叠层集成电路的双面互连CMOS有效
申请号: | 201510373346.0 | 申请日: | 2011-04-06 |
公开(公告)号: | CN104882441B | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | A·钱德雷萨卡兰;B·亨德森 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/18 | 分类号: | H01L25/18;H01L25/065;H01L23/00;H01L23/48;H01L23/525 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 李小芳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 公开了用于叠层集成电路的双面互连CMOS。叠层集成电路(IC)可以将第二层晶片联结到双面的第一层晶片的方式来制造。该双面的第一层晶片包括该晶片正面和反面上的后端制程(BEOL)层。第一层晶片内的延伸触点连接正面和反面BEOL层。延伸触点延伸穿过第一层晶片的结。第二层晶片通过该延伸触点耦合到第一层晶片的正面。附加触点将第一层晶片内的器件耦合到正面BEOL层。在叠层IC中使用双面晶片时,可降低该叠层IC的高度。叠层IC可包括功能等同的各晶片或功能不同的各晶片。 | ||
搜索关键词: | 用于 集成电路 双面 互连 cmos | ||
【主权项】:
1.一种集成电路,包括:第一层;延伸穿过所述第一层中的结的第一延伸触点,所述第一延伸触点被配置成提供通过所述第一层的电连接性,其中所述结包括所述第一层的源区和漏区中的至少一个;以及所述第一层的第一面上的第一后端制程层,所述第一后端制程层包括耦合至所述第一延伸触点的金属层。
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