[发明专利]一种内外环固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 201510287963.9 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104931030B | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;邢亚亮;唐健;刘亚东;孙殿竣;汪濙海;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银,郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种内外环固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法，包括一个含有五到八环的多环谐振器；位于所述多环谐振器的两相邻环之间的多组辐条，相邻两组辐条的位置有一角度差；一个支撑多环谐振器外环的固定滑槽；一个支撑多环谐振器内环的阶梯式圆柱形支撑杆；位于多环谐振器上表面的离散电极；所述多环谐振器的最外一圈环固定，最内一圈环由阶梯式圆柱形支撑杆固定，仅中间的环保留振动自由。本发明由于多环谐振器内外环固定，电极布置在多环谐振器上表面，具有体积小、结构稳定，响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内外 固定 压电 驱动 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种内外环固定式压电驱动多环陀螺，其特征在于，包括：一个含有五到八环的多环谐振器；位于所述多环谐振器的两相邻环之间的多组辐条，相邻两组辐条的位置有一角度差；一个支撑多环谐振器外环的固定滑槽；一个支撑多环谐振器内环的阶梯式圆柱形支撑杆；位于多环谐振器上表面的离散电极；其中：所述多环谐振器的最外一圈环固定，最内一圈环由阶梯式圆柱形支撑杆固定，仅中间的环保留振动自由。
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- 本发明涉及一种三轴多自由度微机电陀螺仪，包括：内框架、中间框架、外框架，以及位于内框架内部的联动部；位于中央的环形检测电容，环形上极板的外沿与联动部连接；两组驱动电容，对称分布在所述外框架平行于x轴的两侧；两组第二检测电容，对称分布在所述外框架平行于y轴的两侧。本发明的三轴多自由度微机电陀螺仪采用单结构设计，电容式静电驱动和差动电容检测，驱动方式简单，结构紧凑，有利于减小陀螺仪体积，工艺上适合批量生产，并且受温度及加工工艺误差影响小，能够实现良好的测量精度和灵敏度。
- 微机电可变形结构和三轴多自由度微机电陀螺仪-201420734425.0
- 张廷凯 - 歌尔声学股份有限公司
- 2014-11-27 - 2015-03-04 - G01C19/5684
- 本实用新型涉及一种三轴多自由度微机电陀螺仪，包括：内框架、中间框架、外框架，以及位于内框架内部的联动部；位于中央的环形检测电容，环形上极板的外沿与联动部连接；两组驱动电容，对称分布在所述外框架平行于x轴的两侧；两组第二检测电容，对称分布在所述外框架平行于y轴的两侧。本实用新型的三轴多自由度微机电陀螺仪采用单结构设计，电容式静电驱动和差动电容检测，驱动方式简单，结构紧凑，有利于减小陀螺仪体积，工艺上适合批量生产，并且受温度及加工工艺误差影响小，能够实现良好的测量精度和灵敏度。
- 微机电环形可变电容和三轴微机电陀螺仪-201420732602.1
- 张廷凯 - 歌尔声学股份有限公司
- 2014-11-27 - 2015-03-04 - G01C19/5684
- 本实用新型涉及一种微机电的环形可变电容和三轴微机电陀螺仪，环形可变电容包括基板、环形上极板、四个下极板、以及支撑结构；以所述环形上极板的中心为原点；所述环形上极板通过支撑结构悬置于所述下极板的上方，所述支撑结构位于环形可变电容的环孔内并且与所述环形上极板的内沿连接，所述支撑结构在原点处通过第一锚点固定于基板上；所述四个下极板固定在基板上并且正对所述环形上极板，分为两组：第一组下极板沿x轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同，第二组下极板沿y轴在原点的两侧对称分布且组内的两个下极板形状相同。本实用新型的环形可变电容结构简单紧凑，能够测量两个方向上的变形，具有良好的测量精度和灵敏度。
- 一种环形陀螺仪的静电调整方法及静电调整系统-201310746223.8
- 朱红;叶泽刚;张奇荣;权海洋 - 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
- 2013-12-30 - 2014-04-30 - G01C19/5684
- 本发明提供了一种环形陀螺仪的静电调整方法及静电调整系统，该方法包括：计算失调参数λ；计算表征谐振环非理想程度的非理想参数f和g；确定需要调整的两组调整电极的调整电压的大小；以及将得到的调整电压分别施加到对应组的调整电极上，重复前面的步骤，直至两个模态的频率差满足调整要求。通过该方法，可快速精确地确定调整电极上的调整电压，利用该调整电压对谐振环产生的弹性力弥补由于工艺误差造成的谐振环的不理想性。根据本发明的静电调整系统具有同样的技术效果。
- 摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺-201310473448.0
- 张卫平;张弓;唐健;成宇翔;许仲兴;陈文元;汪濙海 - 上海交通大学
- 2013-10-11 - 2014-02-12 - G01C19/5684
- 本发明公开一种摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺，包括：一个压电圆盘，一个摇摆质量体，四个电极以及一个固定夹紧装置。其中电极又包括：两个检测电极和两个驱动电极。所述摇摆质量体位于压电圆盘中心直立固定，所述四个电极沿圆盘表面四周均匀分布，驱动电极和检测电极间隔放置，固定夹紧装置在圆盘四周外侧均匀间隔处对圆盘进行固定，紧紧夹在圆盘外围四周。本发明圆盘结构高度对称，驱动模态和检测模态刚好分别在驱动电极和检测电极的方向上；只用一对检测电极，对于检测沿摇摆质量体柱形方向的角速度十分有利；本发明结构简单、小体积、具有高Q值等特点且不需要真空封装。
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