[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置

摘要

本发明提供基板处理方法及装置，在利用能并行使用的多个基板处理单元进行基板处理的情况下，不使由基板处理单元处理后的基板等待从被基板处理单元搬出的等待搬出时间变长。以不使由基板处理单元处理后的基板，等待被基板搬运部从基板处理单元搬出的时间超过允许时间的方式，从多个基板处理单元中选择并行使用的两个以上的基板处理单元。制作基板处理的基板处理管理表，该基板处理包括通过基板搬运部向两个以上的基板处理单元搬运基板的基板搬运处理、在两个以上的基板处理单元中的基板处理、通过基板搬运部从两个以上的基板处理单元搬出基板的基板搬出处理。根据该基板处理管理表来控制基板处理单元和基板搬运部，依次对多个基板进行基板处理。

主权项

一种基板处理装置，具有：多个基板处理单元，能够并行使用，基板搬运部，能够向所述多个基板处理单元搬运基板，并能够从所述多个基板处理单元搬出实施基板处理之后的基板；其特征在于，该基板处理装置具有：管理表制作部，在判断为产生等待搬出时间超过规定的允许时间的基板处理单元的情况下，减少并行使用的两个以上的基板处理单元的数量，变更基板处理的基板处理管理表，所述等待搬出时间为，在所述基板处理单元中实施基板处理之后的基板，等待被所述基板搬运部从所述基板处理单元搬出的时间，该基板处理包括通过所述基板搬运部向所述并行使用的两个以上的基板处理单元搬运基板的基板搬运处理、在所述并行使用的两个以上的基板处理单元中的基板处理、通过所述基板搬运部从所述并行使用的两个以上的基板处理单元搬出基板的基板搬出处理；控制部，根据变更后的所述基板处理管理表，控制所述基板处理单元和所述基板搬运部，依次对多个基板实施基板处理。