[发明专利]一种防掉落的半导体清洗装置有效
| 申请号： | 201510081989.8 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN105983552B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴均;程成;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体生产和制造领域，更具体地说，涉及到一种防掉落的半导体清洗装置。该防掉落的半导体清洗装置包括：固定模组和喷头，以及声波发生器和位移探测器，其中，声波发生器与喷头搭配运作，该位移探测器包括固定端和测量端，其中位移探测器的固定端被固定在所述固定模组上，位移探测器的测量端为可伸缩的，声波发生器压紧位移探测器的测量端且与固定模组固定，该位移探测器感应测量端的伸缩量以检测所述声波发生器是否松动。采用本发明提供的半导体清洗装置，能够防止其中的声波发生装置掉落，从而避免了晶圆被砸碎的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掉落 半导体 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种防掉落的半导体清洗装置，包括固定模组和喷头，其特征在于，所述半导体清洗装置还包括声波发生器和位移探测器，所述声波发生器与所述喷头搭配运作，所述位移探测器包括固定端和测量端，所述位移探测器的固定端被固定在所述固定模组上，所述位移探测器的测量端为可伸缩的，所述声波发生器压紧所述位移探测器的测量端且与所述固定模组固定，所述位移探测器感应所述测量端的伸缩量以检测所述声波发生器是否松动。/n
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