[发明专利]一种防掉落的半导体清洗装置有效
| 申请号： | 201510081989.8 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN105983552B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴均;程成;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掉落 半导体 清洗 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛美半导体设备(上海)有限公司，未经盛美半导体设备(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510081989.8/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像文件处理及语音控制方法
- 下一篇：应用程序收藏方法和应用程序收藏系统
