[发明专利]一种金属热界面材料的制备装置及方法有效

专利信息
申请号: 201510068006.7 申请日: 2015-02-09
公开(公告)号: CN105990279B 公开(公告)日: 2018-07-24
发明(设计)人: 王磊;刘静 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: H01L23/373 分类号: H01L23/373;B01J19/08;C09K5/12
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 李相雨
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明具体涉及一种金属热界面材料的制备装置及方法。本发明制备装置包括磁铁、底板、外电极以及内电极;所述磁铁设置于所述底板下方;所述外电极为柱形圆环,所述内电极为柱形,且所述内电极的半径小于所述外电极的内半径;所述外电极和所述内电极固定于所述底板上,且所述内电极位于所述外电极圆环内。所述外电极与所述内电极之间还可设置加热棒。通过内电极和外电极之间的环形空间形成液态金属的搅拌运动通道,安培力作用到金属流体内部的每个体积元上,使得金属流体整体受力运动,加热棒在加热的同时也起到搅拌的作用。同时施加可变方向电压,可以变换搅拌方向;电压加大时,液态金属表面会扭曲翻滚,提高了掺混效率和材料的均匀度。
搜索关键词: 一种 金属 界面 材料 制备 装置 方法
【主权项】:
1.一种金属热界面材料的制备装置,其特征在于,所述装置包括:磁铁、底板、外电极以及内电极;所述磁铁设置于所述底板下方;所述外电极为柱形圆环,所述内电极为柱形,且所述内电极的半径小于所述外电极的内半径;所述外电极和所述内电极固定于所述底板上,且所述内电极位于所述外电极圆环内;所述装置还包括加热棒,所述加热棒设置于所述外电极与所述内电极之间。
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