[发明专利]碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法在审
| 申请号： | 201480061900.5 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105745364A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 堀勉;佐佐木信;本家翼;川濑智博 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;B24B27/06;B28D5/04;C30B33/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种碳化硅锭(1)，其包括端表面(1a)和与端表面(1a)相反端表面(1b)。在碳化硅锭(1)中，端表面(1a)和端表面(1b)在生长方向上彼此面对，并且所述生长方向上的氮浓度梯度不小于1×1016cm‑4且不大于1×1018cm‑4。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种碳化硅锭，包括第一端表面和与所述第一端表面相反的第二端表面，所述第一端表面和所述第二端表面在生长方向上彼此面对，在所述生长方向上的氮浓度的梯度不小于1×1016cm‑4且不大于1×1018cm‑4。
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