[发明专利]具有射频施加器的可旋转的基板支撑件

摘要

一种基板支撑组件包括：轴组件；耦接至该轴组件的一部分的底座；以及耦接至该轴组件的第一旋转连接器，其中该第一旋转连接器包括：围绕可旋转的轴构件的第一线圈构件，该可旋转的轴构件与该轴组件电耦合，该第一线圈构件可与该可旋转的轴一起旋转；以及第二线圈构件，该第二线圈构件围绕该第一线圈构件，该第二线圈构件相对于该第一线圈构件是固定的，其中该第一线圈构件在旋转的射频施加器被激励时与第二线圈构件电耦合并且通过轴组件向底座提供射频信号/功率。

主权项

1.一种基板支撑组件，包括：轴组件；底座，所述底座耦接至所述轴组件的一部分；以及第一旋转连接器，所述第一旋转连接器耦接至所述轴组件，其中所述第一旋转连接器包括可旋转的射频施加器，所述可旋转的射频施加器包括：第一线圈构件，所述第一线圈构件围绕可旋转的轴，所述可旋转的轴在操作期间与所述轴组件电磁耦合，所述第一线圈构件在操作期间可与所述可旋转的轴一起旋转；第二线圈构件，所述第二线圈构件围绕所述第一线圈构件，所述第二线圈构件相对于所述第一线圈构件是固定的，其中所述第一线圈构件在所述可旋转的射频施加器被激励时与所述第二线圈构件电磁耦合并且通过所述轴组件向所述底座提供射频功率；第一接地构件，置于所述可旋转的轴与所述第一线圈构件之间，且将所述第一线圈构件与所述轴组件的可旋转的部分进行耦合；以及第二接地构件，将所述第二线圈构件与所述轴组件的固定部进行耦合。