[发明专利]具有射频施加器的可旋转的基板支撑件

权利要求书

1.一种基板支撑组件，包括：

轴组件；

底座，所述底座耦接至所述轴组件的一部分；以及

第一旋转连接器，所述第一旋转连接器耦接至所述轴组件，其中所述第一旋转连接器包括可旋转的射频施加器，所述可旋转的射频施加器包括：

第一线圈构件，所述第一线圈构件围绕可旋转的轴，所述可旋转的轴在操作期间与所述轴组件电磁耦合，所述第一线圈构件在操作期间可与所述可旋转的轴一起旋转；

第二线圈构件，所述第二线圈构件围绕所述第一线圈构件，所述第二线圈构件相对于所述第一线圈构件是固定的，其中所述第一线圈构件在所述可旋转的射频施加器被激励时与所述第二线圈构件电磁耦合并且通过所述轴组件向所述底座提供射频功率；

第一接地构件，置于所述可旋转的轴与所述第一线圈构件之间，且将所述第一线圈构件与所述轴组件的可旋转的部分进行耦合；以及

第二接地构件，将所述第二线圈构件与所述轴组件的固定部进行耦合。

2.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，在操作期间，所述第一接地构件和所述第二接地构件提供两个分离的RF回程路径，以建立统一的DC接地参考。

3.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述第一线圈构件在所述旋转的射频施加器被激励时与所述第二线圈构件电感耦合。

4.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，可旋转的轴构件包括介电材料。

5.如权利要求4所述的基板支撑组件，其特征在于，所述可旋转的轴包括铁氧体结构。

6.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

第二旋转连接器，用于向底座提供冷却剂。

7.如权利要求6所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

第三旋转连接器，用于向所述底座传输电信号/功率和从所述底座传输电信号/功率。

8.如权利要求7所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

第四旋转连接器，用于向所述底座提供气体。

9.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述轴组件进一步包括：

导电中央轴，所述导电中央轴与所述第一线圈构件电磁耦合。

10.如权利要求9所述的基板支撑组件，其特征在于，所述导电中央轴包括圆形导电板，所述圆形导电板被设置在所述底座中所设置的所述导电中央轴的一端处。

11.如权利要求9所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括导电外壳，所述导电外壳绕所述可旋转的射频施加器设置。

12.如权利要求11所述的基板支撑组件，其特征在于，所述导电外壳包括包含介电材料的狭缝。

13.如权利要求12所述的基板支撑组件，其特征在于，穿过所述导电外壳形成所述狭缝。

14.一种基板支撑组件，包括：

轴组件，具有固定部分和旋转部分；

底座，所述底座耦接至所述轴组件的中心部分；以及

第一旋转连接器，所述第一旋转连接器耦接至所述轴组件，其中所述第一旋转连接器包括：

可旋转的线圈构件，所述可旋转的线圈构件围绕可旋转的介电轴，所述可旋转的介电轴在操作期间与所述轴组件电磁耦合；

固定的线圈构件，所述固定的线圈构件围绕所述可旋转的线圈构件，其中所述可旋转的线圈构件在可旋转的线圈构件被激励时与所述固定的线圈构件电磁耦合并通过耦合到所述轴组件的所述中心部分的连接器向所述底座提供射频功率；以及

导电外壳，所述导电外壳绕所述固定的线圈构件设置。