[发明专利]电极对、其制作方法、器件用基板以及器件

摘要

本发明提供一种能够将器件的性能高精度地发挥的电极对以及其制作方法、和器件用基板以及器件。电极对（10）形成为，一方电极（10A）和另一方电极（12B）以具有间隙（17）并面对面的方式设置于同一面上，一方电极（12A）和另一方电极（12B）的面对面部分以随着相互接近而自该面远离的方式弯曲。该电极对（10）通过以下方式制作，将以具有初期间隙的方式隔开间隔地形成有种电极对的基板准备为样品；将样品浸入无电解镀液时，当经过一定时间则交换无电解镀液；调整该交换次数。其结果，能够将一方电极（12A）和另一方电极（12B）之间的间隙保持在一定，并且能够将相向的面沿纵向调整。

主权项

1.一种器件用基板，其特征在于，具备：基板、以一方电极和另一方电极具有间隙的方式设置于所述基板上的电极对、以及以覆盖所述电极对的方式设置的绝缘层，在所述一方电极、所述另一方电极、还有所述基板以及所述绝缘层之间形成有空间，所述空间为空的状态，所述一方电极以及所述另一方电极分别具备：朝一方向延伸的主体部，以及自所述主体部以相互的顶端面对面的方式延伸并接近的接近部，所述主体部与所述基板接触，所述接近部不与所述基板接触且所述接近部以随着接近所述顶端而自所述基板远离的方式弯曲，所述接近部具有凸的外形曲面，该凸的外形曲面形成为相对于自所述主体部朝向所述顶端的轴垂直的剖面面积随着接近所述顶端而变小，在所述接近部中，包含所述主体部延伸的轴线并垂直于所述基板的剖面形状中的上部和下部均弯曲成如同圆弧或椭圆弧那样的二次曲线的一部分。