[发明专利]电路内置光电转换装置及其制造方法

摘要

本发明提供难以在等离子体滤光部之下的绝缘层产生凹陷，能够准确地进行等离子体滤光部的微细加工的电路内置光电转换装置及其制造方法。在比配线层(11、12、13)靠上方的绝缘层(7)上设置同一金属层(31)。该金属层(31)具有等离子体滤光部(32)和遮蔽光的屏蔽金属部(33)，该等离子体滤光部(32)具有用于将进行波长选择后的光向第一光电转换元件(101)引导的周期性的开口(32a)。

主权项

一种电路内置光电转换装置，其在基板(100)上形成有至少1个第一光电转换元件(101)和电路部(202)，在所述基板(100)上隔着绝缘层(1、2、3)形成有配线层(11、12、13)，该电路内置光电转换装置的特征在于：在比所述配线层(11、12、13)靠上方的绝缘层(7)上设置有同一金属层(31)，该金属层(31)具有等离子体滤光部(32)和屏蔽金属部(33)，该等离子体滤光部(32)具有用于将进行波长选择后的光向所述第一光电转换元件(101)引导的周期性或非周期性地配置的开口(32a、32a、32a……)，该屏蔽金属部(33)遮蔽规定的波长的光。