[发明专利]电路内置光电转换装置及其制造方法

权利要求书

1.一种电路内置光电转换装置，其在基板(100)上形成有至少1个第一光电转换元件(101)和电路部(202)，在所述基板(100)上隔着绝缘层(1、2、3)形成有配线层(11、12、13)，该电路内置光电转换装置的特征在于：

在比所述配线层(11、12、13)靠上方的绝缘层(7)上设置有同一金属层(31)，该金属层(31)具有等离子体滤光部(32)和屏蔽金属部(33)，该等离子体滤光部(32)具有用于将进行波长选择后的光向所述第一光电转换元件(101)引导的周期性或非周期性地配置的开口(32a、32a、32a……)，该屏蔽金属部(33)遮蔽规定的波长的光。

2.如权利要求1所述的电路内置光电转换装置，其特征在于：

所述屏蔽金属部(33)为接地电位。

3.如权利要求1或2所述的电路内置光电转换装置，其特征在于：

包括参照用的第二光电转换元件(201)，

所述屏蔽金属部(33)覆盖所述第二光电转换元件(201)。

4.如权利要求1至3中任一项所述的电路内置光电转换装置，其特征在于：

在所述基板(100)上，以形成多层配线的方式设置有多个所述配线层(11、12、13)，

所述金属层(31)隔着绝缘层(7)设置在所述多个配线层(11、12、13)中的最上方的配线层(13)之上。

5.一种电路内置光电转换装置的制造方法，其特征在于：

在基板(100)上形成第一光电转换元件(101)和电路部(202)，

在所述基板(100)上依次隔着绝缘层(1、2、3)层叠多个配线层(11、12、13)，

在所述多个配线层(11、12、13)中的最上层的配线层(13)之上，隔着绝缘层(7)形成同一金属层(31)，

在所述金属层(31)的一部分，周期性或非周期性地形成用于将进行波长选择后的光向所述第一光电转换元件(101)引导的开口(32a)从而形成等离子体滤光部(32)，将所述金属层(31)的另一部分定义为遮蔽规定的波长的光的屏蔽金属部(33)。