[发明专利]铁电薄膜形成用组合物及其制造方法

摘要

本发明提供一种铁电薄膜形成用组合物及其制造方法。本发明的铁电薄膜形成用组合物是通过预烧工序及烧成工序来调整成膜的杨氏模量，且即使每一次的涂膜较厚，烧成时也几乎不发生龟裂而能够获得结晶性较高的薄膜，从而可减少涂膜次数而提高薄膜的制造效率。通过使用铁电薄膜形成用组合物，即使每一次的涂膜较厚，烧成时也几乎不发生龟裂而形成结晶性较高的薄膜，所述铁电薄膜形成用组合物的特征在于，该铁电薄膜形成用组合物是包含铁电薄膜的前驱体、溶剂及反应控制物质，且通过涂膜的预烧及烧成来形成铁电薄膜的组合物，上述反应控制物质的含量是在200℃～300℃的预烧阶段中成膜的杨氏模量为42GPa以下且在400℃～500℃的烧成阶段中成膜的杨氏模量成为55GPa以上的量。

主权项

1.一种铁电薄膜形成用组合物，其特征在于，该铁电薄膜形成用组合物是包含铁电薄膜的前驱体、溶剂、反应控制物质及水，且通过涂膜的预烧及烧成来形成铁电薄膜的组合物，通过含有：所述前驱体，氧化物换算含量为17～35质量％；溶剂，二醇量为16～56质量％；反应控制物质，相对于所述前驱体1摩尔为0.0025～0.25摩尔；及水，相对于所述前驱体1摩尔为0.5～3摩尔，由此在200℃～300℃的预烧阶段中成膜的杨氏模量成为42GPa以下且在400℃～500℃的烧成阶段中成膜的杨氏模量成为55GPa以上。