[发明专利]具有经选择性掺杂导电氧化物层的太阳能电池及其制备方法

摘要

制备经涂覆基板的方法，该基板具有透明导电氧化物层且掺杂物选择性分布于该层中，该方法包括将氧化物前体材料和掺杂物前体材料选择性供应至多单元化学气相沉积涂覆机的各涂覆单元，其中选择所供应掺杂物材料的量以改变所得涂层中掺杂物含量对涂层深度。

主权项

一种制备经涂覆基板的方法，该基板具有涂层且掺杂物选择性分布于该涂层中，该方法包括以下步骤：将涂层前体材料供应至多单元化学气相沉积涂覆机的涂覆单元；将掺杂物前体材料供应至多单元化学气相沉积涂覆机的涂覆单元；控制该涂层前体材料与该掺杂物前体材料中至少一者的供应，以限定在该涂覆单元中具有该掺杂物前体材料对该涂层前体材料的所选比率的涂料组合物；和将该涂料组合物沉积至基板上以形成经掺杂涂层，其中选择该掺杂物前体材料对该涂层前体材料的比率以限定所得经掺杂涂层的期望的掺杂物含量对涂层深度的情况。