[实用新型]一种硅芯炉用可更换的高频线圈系统有效
申请号: | 201420310501.5 | 申请日: | 2014-06-12 |
公开(公告)号: | CN203904503U | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 吕洪伟;王相君;李波;李栋 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 712038 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅芯炉用可更换的高频线圈系统,包括:一个固定于硅芯炉上轴上的籽晶盘,所述籽晶盘包括一盘体,一设置于盘体中部的籽晶盘定位孔,以及一均匀分布于籽晶盘定位孔四周的籽晶夹头定位孔;一固定于硅芯炉下轴上的基座料座,所述基座料座包括一位于上部的安装基座料的底座,以及一位于下部的固定端,固定端承插在硅芯炉下轴上;以及一固定于硅芯炉炉壁上的高频线圈,所述高频线圈包括一支撑体,一位于支撑体一侧并列设置的连接板,以及一位于支撑体中部的中孔,所述中孔均匀分布五个边孔。本实用新型经实际使用验证,其具有基座料直径范围宽,拆装便捷等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅芯炉用可 更换 高频 线圈 系统 | ||
【主权项】:
一种硅芯炉用可更换的高频线圈系统,其特征在于,包括:一个固定于硅芯炉上轴上的籽晶盘,所述籽晶盘包括一盘体,一设置于盘体中部的籽晶盘定位孔,以及一均匀分布于籽晶盘定位孔四周的籽晶夹头定位孔;一固定于硅芯炉下轴上的基座料座,所述基座料座包括一位于上部的安装基座料的底座,以及一位于下部的固定端,固定端承插在硅芯炉下轴上;以及一固定于硅芯炉炉壁上的高频线圈,所述高频线圈包括一支撑体,一位于支撑体一侧并列设置的连接板,以及一位于支撑体中部的中孔,所述中孔均匀分布五个边孔。
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