[实用新型]一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构

摘要

本实用新型是一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构，包括固定电极（5）、活动电极（6）和热丝（10）构成的电极结构；由第一横梁（1）、第二横梁（2）和滑动块（7）构成的电极固定结构；包括两根支撑条（3）、一根横条（4）、弹簧（8）和滑动隔热板（11）的张紧结构。第二横梁（2）、支撑条（3）、横条（4）形成稳定的一个固定架结构；固定电极（5）和活动电极（6）之间缠绕热丝（10），并通过滑动隔热板（11和弹簧（8）固定在上述固定架内。本实用新型能够有效的将弹簧隔热，确保热丝加热拉长变形时，其变形量始终被弹簧所吸收，同时简化了结构，仅需要一次调节就可以将多跟活动电极调整到位，更适合一次使用多根电极的结构。

主权项

一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构，其特征在于：所述热丝张紧机构包括：电极结构，所述电极结构包括固定电极（5）、活动电极（6）和热丝（10）；电极固定结构，所述电极固定结构由第一横梁（1）、第二横梁（2）和滑动块（7）构成；张紧结构，所述张紧结构包括两根支撑条（3）、一根横条（4）、弹簧（8）和滑动隔热板（11）；其中，所述第一横梁（1）与第二横梁（2）呈平行相对设置；两根支撑条（3）纵向固定在第二横梁（2）的两端；两根支撑条（3）的另外两端与所述横条（4）固定，所述第二横梁（2）、支撑条（3）、横条（4）形成稳定的一个固定架结构；所述固定电极（5）的一端固定在第一横梁（1）上，所述热丝（10）之子形缠绕在固定电极（5）和活动电极（6）相对两端的挂钩上；活动电极（6）另一端通过活动电极挂线（13）固定在滑动隔热板（11）上；所述滑动隔热板（11）通过弹簧（8）连接横条（4）；所述滑动隔热板（11）可以在两根支撑条（3）之间滑动或被锁定。