[实用新型]一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构

权利要求书

1.一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构，其特征在于：所述热丝张紧机构包括：

电极结构，所述电极结构包括固定电极（5）、活动电极（6）和热丝（10）；

电极固定结构，所述电极固定结构由第一横梁（1）、第二横梁（2）和滑动块（7）构成；

张紧结构，所述张紧结构包括两根支撑条（3）、一根横条（4）、弹簧（8）和滑动隔热板（11）；其中，

所述第一横梁（1）与第二横梁（2）呈平行相对设置；两根支撑条（3）纵向固定在第二横梁（2）的两端；两根支撑条（3）的另外两端与所述横条（4）固定，所述第二横梁（2）、支撑条（3）、横条（4）形成稳定的一个固定架结构；

所述固定电极（5）的一端固定在第一横梁（1）上，所述热丝（10）之子形缠绕在固定电极（5）和活动电极（6）相对两端的挂钩上；活动电极（6）另一端通过活动电极挂线（13）固定在滑动隔热板（11）上；所述滑动隔热板（11）通过弹簧（8）连接横条（4）；所述滑动隔热板（11）可以在两根支撑条（3）之间滑动或被锁定。

2.根据权利要求1所述的热丝张紧机构，其特征在于：所述活动电极（6）的中间结构为长方形槽（9），所述第二横梁（2）安装滑动块（7），所述长方形槽（9）由滑动块（7）定位，并可以在滑动块（7）上水平往复滑动。

3.根据权利要求2所述的热丝张紧机构，其特征在于：所述弹簧（8）为两根，分别安装在滑动隔热板（11）上下两端。

4.根据权利要求3所述的热丝张紧机构，其特征在于：所述支撑条（3）中间部位开上下贯通的槽，所述滑动隔热板（11）在该槽内滑动；所述滑动隔热板（11）两端穿过支撑条（3）的贯通槽安装锁定螺钉（14），控制滑动隔热板（11）的锁定和滑动。

5.根据权利要求4所述的热丝张紧机构，其特征在于：所述固定电极（5）和活动电极（6）分别为10根～20根，其排列间距为10～20mm。

6.根据权利要求5所述的热丝张紧机构，其特征在于：所述滑动隔热板（11）中间部位增加1根弹簧（12）。

7.根据权利要求6所述的热丝张紧机构，其特征在于：所述活动电极挂线（13）为直径1～5mm的钼丝，所述滑动块（7）的材料为钨或钼。

8.根据权利要求7所述的一种热丝张紧机构，其特征在于：所述第一横梁（1）、第二横梁（2）采用钨杆或钼杆；所述支撑条（3）和滑动隔热板（11）的材质为耐高温可加工绝缘陶瓷。

9.根据权利要求8所述的一种热丝张紧机构，其特征在于：所述横条（4）材质为钼或不锈钢。

10.根据权利要求4所述的一种热丝张紧机构，其特征在于：所述固定电极（5）和活动电极（6）的材料为钽或钼。