[实用新型]一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构

说明书

技术领域

本实用新型属于化学气相沉积金刚石领域，特别是涉及热丝化学气相沉积金刚石设备中使用的一种热丝张紧机构。

背景技术

利用热丝化学气相沉积方法制备金刚石膜(厚膜或涂层)时(即CVD金刚石)，必须要用到加热丝(钽丝或钨丝)。在使用时，热丝要由一个机构进行固定，同时要求在真空炉中加热这个热丝时，热丝必须要能够保持平直、绷紧，这对金刚石的生产至关重要。

中国专利CN20169508“一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构”，公开了的热丝张紧机构包括第一横梁、第二横梁、两根支撑条、一根横条、固定电极、活动电极、活动螺钉及弹簧；第一横梁与第二横梁平行相对；固定电极一端带钩并固定在第一横梁上；活动电极两端带钩，通过活动螺钉安装在第二横梁上；支撑条和横条固定形成固定架；弹簧一端连接在活动电极上，另一端固定在横条上。该热丝张紧机构在金刚石制备过程中，随着电流增加，加热丝由于被加热而拉长变形，但其变形量被弹簧所吸收，即可使加热丝一直处于平直状态。

该专利存在以下的问题：热丝张紧机构的加热丝在工作过程中，弹簧始终处于高温环境中，容易产生疲劳变形，丧失弹性，使加热丝不能保持平直状态存；在安装活动电极时，需要在框架内对每一根活动电极都需要拧动固定螺钉调节；而且该螺钉处于高温条件下，极易产生锈蚀，操作困难；该结构一次处理的电极个数有限，增加电极处理个数，例如，一次处理10-20根电极，必须挂载10-20根弹簧，造成机构复杂，使用和调整不方便，给实际操作带来一定的困难。

发明内容

本实用新型的目的是要克服现有技术中的缺点，提供一种使用效果好，结构简单、使用方便，并能够延长张紧机构的使用寿命的热丝张紧机构。

为了实现本实用新型的目的，提出以下技术方案：

一种化学气相沉积金刚石设备中使用的热丝张紧机构，其特征在于：所述热丝张紧机构包括：

电极结构，所述电极结构包括固定电极5、活动电极6和热丝10；

电极固定结构，所述电极固定结构由第一横梁1、第二横梁2和滑动块7构成；

张紧结构，所述张紧结构包括两根支撑条3、一根横条4、弹簧8和滑动隔热板11；其中，

所述第一横梁1与第二横梁2呈平行相对设置；两根支撑条3纵向固定在第二横梁2的两端；两根支撑条3的另外两端与所述横条4固定，所述第二横梁2、支撑条3、横条4形成稳定的一个固定架结构；

所述固定电极5的一端固定在第一横梁1上，所述热丝10之子形缠绕在固定电极5和活动电极6相对两端的挂钩上；活动电极6另一端通过活动电极挂线13固定在滑动隔热板11上；所述滑动隔热板11通过弹簧8连接横条4；所述滑动隔热板11可以在两根支撑条3之间滑动或被锁定。

所述活动电极6的中间结构为长方形槽9，所述第二横梁2安装滑动块7，所述长方形槽9由滑动块7定位，并可以在滑动块7上水平往复滑动。

所述弹簧8为两根，分别安装在滑动隔热板11上下两端。

所述支撑条3中间部位开上下贯通的槽，所述滑动隔热板11在该槽内滑动；所述滑动隔热板11两端穿过支撑条3的贯通槽安装锁定螺钉14，控制滑动隔热板11的锁定和滑动。

所述固定电极5和活动电极6分别为10根～20根，其排列间距为 10～20mm。

所述滑动隔热板11中间部位增加1根弹簧12。

所述活动电极挂线13为直径1-5MM钼丝，所述滑动块7的材料为钨或钼。

所述第一横梁1、第二横梁2采用钨杆或钼杆；所述支撑条3和滑动隔热板11的材质为耐高温可加工绝缘陶瓷。

：所述横条4材质为钼或不锈钢。

所述固定电极5和活动电极6的材料为钽或钼。

本实用新型的热丝张紧机构，能够有效的将弹簧隔热，提高弹簧的使用寿命，确保热丝加热拉长变形时，其变形量始终被弹簧所吸收，保持平直状态，同时，本实用新型简化了结构，仅需要一次调节就可以将多跟活动电极调整到位，更适合一次使用多根电极的结构，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的另一个实施例。

1第一横梁 8拉紧弹簧

2第二横梁 9长方形槽

3支撑条 10热丝

4横条 11滑动隔热板

5固定电极 12稳定弹簧

6活动电极 13活动电极挂线

7滑动块 14锁紧螺钉