[发明专利]焰熔法快速生长刚玉系蓝宝石晶体材料的工艺及设备有效
申请号: | 201410686325.X | 申请日: | 2014-11-26 |
公开(公告)号: | CN104389020A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 文典清;赵景亭 | 申请(专利权)人: | 山东萨菲尔晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 255300 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 焰熔法快速生长刚玉系蓝宝石晶体材料的工艺及设备,属于焰熔法制造刚玉系晶体的工艺及装备领域。本发明通过对晶体生长工艺的改造,有效突破了快速生长的方法,完全解决了晶体生长尺寸不大的难题,极大的提高了生产效率,生产成本得到进一步有效的掌控。而且在2050℃的高温下,γ-AL2O3粉中的低熔点杂质被气化,高熔点杂质在氧化气氛中被氧化,完全实现了晶体的生长过程,实际上完成了晶体的再结晶和再提纯的过程,因而,在这种新工艺的条件下,a-AL2O3蓝宝石晶体,纯度高达99.9998%,完全可以满足用户对晶体纯度的要求。全套设备结构设计简洁合理,科学实用,有利于高质高效的进行晶体生长作业,适宜在业界推广普及。 | ||
搜索关键词: | 焰熔法 快速 生长 刚玉 蓝宝石 晶体 材料 工艺 设备 | ||
【主权项】:
焰熔法快速生长刚玉系蓝宝石晶体材料的工艺,其特征在于包括如下步骤:(1)将预先做好的籽晶固定在升降台上,并扶正;(2)打开氢气源,在燃烧室中用明火点燃;(3)打开氧气源,并将流量调整到8m3/小时;(4)检查火焰位置,调正火焰形状至稳定;(5)将做好的升降台送入炉体中,并调正籽晶到火焰中心,籽晶在观察口2/3处;(6)熔种:调正氢气流量为:25m/小时,加大氧气流量,直至晶种上部熔为球形;(7)落料:调正落料数量4g/分;(8)开启升降装置,使晶体的熔融部分降到温度较低的区域而结晶,初试阶段的下降速度为65mm/小时;(9) 晶体的扩大生长:加大气体流量,氢气流量固定在32m3/小时,氧气流量在10分钟内由8m3/小时逐渐的平稳的上调至12.5 m3/小时,并固定在这个流量至生长结束;(10)晶体的等径生长:氢气流量固定在32m3/小时,氧气流量固定在12.5m3/小时,并使氢气和氧气的波动U型压力计显示为0.15mm;(11)调整落料数量至6g‑8g/分钟;(12)调整下降机构至100‑130mm/小时,此时,晶体在高温炉中即快速的长大起来。
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