[发明专利]一种高效晶硅太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高效晶硅太阳能电池，包括：背电极、铝背场、P型硅、N型硅、氮化硅膜和正电极；所述氮化硅膜上涂覆磷源，对涂覆有磷源的氮化硅膜通过激光刻蚀形成激光掺杂槽，使磷元素掺杂进所述激光掺杂槽的硅里，所述激光掺杂槽图案为线型正电极栅线图案；所述正电极底部处于所述激光掺杂槽之内。本发明还公开了一种制备高效晶硅太阳能电池的方法。采用本发明，通过激光掺杂磷源的方式形成激光掺杂槽，使硅片表面的磷掺杂浓度呈选择性分布，在栅线以内区域通过激光掺杂达到较高的磷掺杂浓度，保证栅线与硅的良好欧姆接触；在栅线以外区域采用高方阻扩散，达到较低的掺杂浓度，提升电池的开路电压和短路电流，从而提升电池的光电转换效率。

主权项

一种高效晶硅太阳能电池，其特征在于，包括背电极、铝背场、P型硅、N型硅、氮化硅膜和正电极；所述氮化硅膜上涂覆磷源，对涂覆有磷源的氮化硅膜通过激光刻蚀形成激光掺杂槽，使磷元素掺杂进所述激光掺杂槽的硅里，所述激光掺杂槽图案为线型正电极栅线图案；在所述激光掺杂槽内通过丝网印刷方式印刷正电极浆料，形成正电极；所述激光掺杂槽宽度至少比所述正电极宽度宽10μm，所述正电极底部处于所述激光掺杂槽之内。