[发明专利]半导体芯片激光模块及其散热方法有效

专利信息
申请号: 201410468407.7 申请日: 2014-09-15
公开(公告)号: CN104201560B 公开(公告)日: 2017-11-17
发明(设计)人: 刘婷婷;郝强;张青山;郭政儒;曾和平 申请(专利权)人: 上海理工大学
主分类号: H01S5/024 分类号: H01S5/024
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司31253 代理人: 冯子玲
地址: 200093 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供的一种半导体芯片激光模块,其特征在于,包括热沉;无机热超导材料;以及半导体激光器件,固定于所述热沉,其中,所述半导体激光器件,具有芯片散热单元和光路散热单元;所述芯片散热单元,固定于所述半导体激光器件的内壁;所述光路散热单元,固定于半导体激光器件的内壁,所述芯片散热单元,包含芯片、关联夹具和铜基座;所述芯片固定于所述关联夹具中间;所述铜基座的一侧与所述关联夹具相固定,另一侧与半导体激光器件的内壁相固定,所述无机热超导材料,填充于上述各部件的连接处。
搜索关键词: 半导体 芯片 激光 模块 及其 散热 方法
【主权项】:
一种半导体芯片激光模块,其特征在于,包括:热沉;无机热超导材料;以及半导体激光器件,固定于所述热沉,其中,所述半导体激光器件,具有:芯片散热单元和光路散热单元;所述芯片散热单元,固定于所述半导体激光器件的内壁;所述光路散热单元,固定于半导体激光器件的内壁,所述芯片散热单元,包含:芯片、关联夹具和铜基座;所述芯片固定于所述关联夹具中间;所述铜基座的一侧与所述关联夹具相固定,另一侧与半导体激光器件的内壁相固定,所述无机热超导材料,填充于上述各部件的连接处,其中,所述热沉的接触面、所述半导体激光器件的接触面、所述关联夹具的接触面、所述铜基座的接触面均开设有梳状凹槽,所述梳状凹槽的深度为各开设有所述梳状凹槽部件高度的一半,所述热沉内部和所述铜基座内部都开设有环形凹槽,无机热超导材料填充在所述梳状凹槽和所述环形凹槽内。
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  • 本实用新型提供一种宏通道半导体激光器,包括激光模块(1)和热沉模块(2),热沉模块(2)包括热沉主体(21)、设置于热沉主体(21)上端开口向前的出水孔(22),设置于热沉主体(21)下端开口向上的进水孔(23),进水孔(23)的出水面积不大于横截面积。本实用新型提供的宏通道半导体激光器,设计一种新结构的宏通道热沉,激光器的各部分配合设计,大大提高了热沉散热效率,热沉直接作为正极端,组装简单,结构轻巧。
  • 一种宏通道液冷高功率半导体激光器-201920037490.0
  • 华俊 - 西安欧益光电科技有限公司
  • 2019-01-10 - 2019-09-17 - H01S5/024
  • 本实用新型提供一种宏通道液冷高功率半导体激光器,包括激光模块(1)、热沉模块(2)和水道模块(3),热沉模块(2)包括热沉主体(21)、设置于热沉主体(21)上端的出水孔(22)、设置于热沉主体(21)下端的进水孔(23),出水孔(22)前端对应设置有集水孔(24),进水孔(23)前端对应设置有布水孔(25)。本实用新型提供的一种宏通道液冷高功率半导体激光器,激光器的各部分配合设计,大大提高了热沉散热效率,可以实现大功率激光器的稳定、高效散热。
  • 一种半导体激光器老化夹具-201920243097.7
  • 邵长国;马崇彩;孙素娟;开北超;郑兆河 - 潍坊华光光电子有限公司
  • 2019-02-27 - 2019-09-13 - H01S5/024
  • 一种半导体激光器老化夹具,需要老化半导体激光器时,将若干半导体激光器分别放入各个长孔中,夹紧装置推动滑块向前滑动使滑块的前端与半导体激光器的后端接触,半导体激光器的前端与长孔的前端相接触,从而实现将半导体激光器挤压固定在长孔中,之后将整个夹具放入到老化柜中进行老化,老化时散热片一端正对老化柜的风扇风道,通过风扇产生的气流流过散热片的各个片叶将老化时的热量带走,防止老化时的热量过高。一次可以装夹多个半导体激光器,提高了老化时的工作效率,节省了老化时的半导体激光器的安装时间。
  • 一种半导体激光器-201920293314.3
  • 陈冬英 - 陈冬英
  • 2019-03-08 - 2019-09-13 - H01S5/024
  • 本实用新型涉及半导体器件技术领域,尤其是一种半导体激光器。它包括激光器主体、包括热敏电阻在内的温度传感器、半导体制冷器和温度控制器;温度控制器包括对输入半导体制冷器的电流进行修正的PI温度控制器、对半导体制冷器的工作温度进行设定的温度预设单元及对半导体制冷器进行启闭控制和限流保护的开关保护单元。本实用新型的控制系统类似于闭环控制系统,当外界环境温度或系统参数发生变化时,PI温度控制器可利用温度设定值与实际温度值之间的差量产生的修正控制量,达到消除温度偏差的效果,保证对激光器温度控制的准确性;同时,通过设置的开关保护单元来控制半导体制冷器的工作状态以及工作电流的限制性保护,可实现对此核心且昂贵的器件的充分保护。
  • 一种用于高功率半导体激光器的宏通道液体制冷片-201920238579.3
  • 顾宁宁;开北超;于果蕾;徐现刚;郑兆河 - 潍坊华光光电子有限公司
  • 2019-02-26 - 2019-09-10 - H01S5/024
  • 本实用新型涉及一种用于高功率半导体激光器的宏通道液体制冷片,属于半导体激光器散热领域,包括相互交错分布的多片第一制冷片和第二制冷片,所述第一制冷片和第二制冷片均为片状结构,且均设置有通水区和芯片焊接区,所述第一制冷片和第二制冷片均包括上表面和下表面,所述上表面在所述通水区内设置有进水孔,所述下表面设置有与所述进水孔相对应的出水孔,进水口和出水孔贯通形成从上表面到下表面的通孔,所述第一制冷片的进水孔位于通水区内远离芯片焊接区的一端,所述第二制冷片的进水孔位于通水区内靠近芯片焊接区的一端。本实用新型结构简单、散热面积大、散热效果好。
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