[发明专利]一种阵列基板及其制作方法和显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制作方法和显示装置，其中阵列基板包括衬底基板；设置在衬底基板上的栅极；位于栅极上方的第一绝缘层；以及覆盖在栅极上的保护层，保护层将栅极和第一绝缘层隔离；保护层与设置在所述衬底基板上的第一电极由同一次构图工艺形成且互相绝缘。通过在栅极上覆盖保护层，有效解决栅极材料向栅极上方的绝缘层扩散导致薄膜晶体管器件性能退化的问题，防止器件失效，同时还可以防止栅极金属被氧化和腐蚀。并且由于保护层和第一电极通过一次构图工艺完成，没有额外增加光刻和刻蚀的步骤，简化工艺，也不需要对栅极进行合金化技术操作，因此既能降低工艺难度，还能节约加工成本。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；设置在所述衬底基板上的栅极；位于所述栅极上方的第一绝缘层；以及覆盖在所述栅极上的保护层，所述保护层将所述栅极和所述第一绝缘层隔离；所述保护层与设置在所述衬底基板上的第一电极由同一次构图工艺形成且互相绝缘，且所述保护层与所述衬底基板上的第一电极同层同材料。