[发明专利]力检测装置、机械手和电子部件搬运装置

摘要

本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。

主权项

1.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基板；第二基板；电路基板，其设置于所述第一基板与所述第二基板之间；搭载于所述电路基板且根据外力输出信号的元件；配置所述元件且具有凹部的第一部件；以及对所述凹部进行密封的第二部件，在所述电路基板的配置有所述元件的部位形成有孔，在所述第一基板设置有第一凸部，所述第一凸部插入到所述孔且朝向所述元件突出。