[发明专利]MEMS寿命增加

摘要

本发明通常涉及通过减少MEMS装置中切换元件的移动次数来增加MEMS装置的寿命的方法。如果两个周期需要相同的电容，则切换元件可以保持相同状态，而不是在周期之间回到接地状态。例如，如果在第一和第二周期中，MEMS装置的切换元件都处于高电容状态，则切换元件可以在第一和第二周期之间保持在原处，而不是移动到接地状态。即使在连续周期中电容的极性不同，切换元件也可以保持在原处，并且极性可以切换。因为切换元件在周期之间保持在原处，所以切换元件虽然具有同样有限的移动次数，但应具有较长的寿命。

主权项

一种操作数字可变电容器的方法，所述数字可变电容器具有多个MEMS装置，所述多个MEMS装置每个都具有切换元件，所述方法包括：第一切换过程，其包括：将所述多个MEMS装置的第一MEMS装置切换到第一电容状态，所述切换包括：将第一偏压施加到所述第一MEMS装置的第一电极以使所述第一MEMS装置的切换元件从电接地的第一位置移动到与所述第一MEMS装置的第二电极相邻的第二位置；和将所述多个MEMS装置的第二MEMS装置切换到第二电容状态，所述切换包括：将第二偏压施加到所述第二MEMS装置的第一电极以使所述第二MEMS装置的切换元件从电接地的第三位置移动到与所述MEMS装置的第二电极相邻的第四位置，切换所述第二MEMS装置与切换所述第一MEMS装置同时发生；和第二切换过程，其包括：将所述第一MEMS装置切换到接地状态，所述切换包括移除所述第一偏压以允许所述切换元件返回到所述第一位置；和在所述第二MEMS装置的第一电极上保持第二偏压以在所述第一MEMS装置返回到所述第一位置时使所述第二MEMS装置的切换元件保持在所述第四位置，其中，在所述第二MEMS装置的第一电极上保持第二偏压以通过减少周期之间的移动来增加所述第二MEMS装置的寿命。