[发明专利]物体保持器和光刻设备有效
| 申请号： | 201380028535.3 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN104541206A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | T·洛朗;R·布洛克斯;R·科蒂;M·霍本;J·雅各布斯;R·拉法雷;H·伦彭斯;J·奥弗坎普;G·皮特塞 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种载物台(WT)用于支撑物体(W)，载物台具有支撑本体(100)，用于保持物体的物体保持器(30)，邻近物体保持器边缘的开口(5)，以及经由通路(14)与开口流体连通的通道(16)，其中通道由不同于限定通路的第二材料的第一材料来限定。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 保持 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种用于支撑物体的载物台，所述载物台包括：支撑本体，包括用于保持物体的物体保持器；开口，邻近所述物体保持器的边缘；以及通道，经由通路与所述开口流体连通，其中所述通道由与限定所述通路的第二材料不同的第一材料所限定。
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