[发明专利]物体保持器和光刻设备

权利要求书

1.一种用于支撑物体的载物台，所述载物台包括：

支撑本体，包括用于保持物体的物体保持器；

开口，邻近所述物体保持器的边缘；以及

通道，经由通路与所述开口流体连通，其中所述通道由与限定所述通路的第二材料不同的第一材料所限定。

2.根据权利要求1所述的载物台，其中，所述第一材料具有不同于所述第二材料的热导率。

3.根据权利要求2所述的载物台，其中，所述第一材料的热导率比所述第二材料的热导率大至少一个数量级。

4.根据权利要求1至3任一项所述的载物台，其中，所述第一材料的热导率为至少500W/mK、至少800W/mK、或者至少1000W/mK。

5.根据权利要求1至4任一项所述的载物台，其中，所述第一材料是热解石墨或工业金刚石。

6.根据权利要求1或2所述的载物台，其中，所述第一材料具有不同于所述第二材料的热膨胀系数。

7.根据权利要求6所述的载物台，其中，所述第一材料的热膨胀系数比所述第二材料的热膨胀系数小至少一个数量级。

8.根据权利要求1、6或7所述的载物台，其中，所述第一材料是玻璃陶瓷。

9.根据权利要求8所述的载物台，其中，所述第一材料是铝硅酸盐玻璃陶瓷或堇青石。

10.根据权利要求1至9任一项所述的载物台，其中，所述第一材料的热膨胀系数小于或等于1×10^-6/K、小于或等于0.5×10^-6/K、小于或等于0.25×10^-6/K、或者小于或等于100×10^-9/K。

11.根据权利要求1或权利要求6至10任一项所述的载物台，其中，所述第一材料的热导率比所述第二材料的热导率低至少一个数量级，或者比所述第二材料的热导率低至少两个数量级。

12.根据权利要求1、2、或权利要求6至11任一项所述的载物台，其中，所述第一材料是玻璃或者聚合物。

13.根据权利要求1、2、或权利要求6至12任一项所述的载物台，其中，所述第一材料是选自以下的至少一种：PTFE、HDPE、PP、PVC、橡胶、和/或软木。

14.根据权利要求1、2、或权利要求6至13任一项所述的载物台，其中，所述第一材料的热导率小于或等于10W/mK、小于或等于5W/mK、小于或等于2W/mK、或者小于或等于1W/mK。

15.根据权利要求1至14任一项所述的载物台，其中，所述第一材料的杨氏模量小于或等于100×10⁹Pa、或者小于或等于50×10⁹Pa。

16.根据权利要求1至15任一项所述的载物台，进一步包括，在所述第一材料和所述第二材料之间的阻热层。

17.根据权利要求1至16任一项所述的载物台，进一步包括，从所述支撑本体基本上机械地解耦所述第一材料的机械阻挡件。

18.根据权利要求16或17所述的载物台，其中，所述阻热层和/或所述机械阻挡件包括间隙。

19.根据权利要求18所述的载物台，其中，采用气体或真空填充所述间隙。

20.根据权利要求16或17所述的载物台，其中，所述阻热层和/或所述机械阻挡件是胶粘剂。

21.根据权利要求16至20任一项所述的载物台，其中，所述阻热层和/或所述机械阻挡件在所述通道的径向内侧。

22.根据权利要求16至21任一项所述的载物台，其中，所述阻热层和/或所述机械阻挡件在所述通道上方。

23.根据权利要求1至22任一项所述的载物台，其中，所述第一材料是涂层。

24.根据权利要求1至22任一项所述的载物台，其中，所述第一材料形成所述载物台的自支撑结构元件。

25.根据权利要求1至23任一项所述的载物台，其中，所述第一材料由所述载物台的结构元件支撑。