[发明专利]用于控制传输穿过锥形石英拱形结构的光的光学系统

摘要

本文所述的实施例大体涉及用于加热基板的设备。所述设备通常包括处理腔室，所述处理腔室具有基板支撑件于所述处理腔室中。多个灯被定位以提供通过光学透明拱形结构的辐射能量至位于所述基板支撑件上的基板。聚光组件位于所述腔室内，用以影响所述基板上的加热及温度分布，并且用以促进在基板上形成具有均匀特性的膜，所述特性比如密度。所述聚光组件能包括一或更多个反射器、光管或折射透镜。

主权项

一种处理腔室，包括：腔室主体，所述腔室主体包括光学透明拱形结构；基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述腔室主体内；多个灯，所述多个灯设置成相邻于所述光学透明拱形结构；及聚光组件，所述聚光组件定位于所述腔室主体内在所述多个灯与基板之间，所述基板位于所述基板支撑件上，所述聚光组件适用于影响从所述多个灯发射的辐射能量，其中所述聚光组件包括多个同心环，所述同心环包括石英；并且所述同心环含有空腔于所述同心环中，所述空腔的内壁具有反射涂层于所述内壁上。