[发明专利]用于控制传输穿过锥形石英拱形结构的光的光学系统

权利要求书

1.一种处理腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体包括光学透明拱形结构；

基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述腔室主体内；

多个灯，所述多个灯设置成相邻于所述光学透明拱形结构；及

聚光组件，所述聚光组件定位于所述腔室主体内在所述多个灯与基板之间，所述基板位于所述基板支撑件上，所述聚光组件适用于影响从所述多个灯发射的辐射能量，

其中所述聚光组件包括多个同心环，所述同心环包括石英；并且

所述同心环含有空腔于所述同心环中，所述空腔的内壁具有反射涂层于所述内壁上。

2.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述多个同心环的至少一些同心环由多个多边形组成。

3.如权利要求1或2所述的处理腔室，其中所述同心环的至少一些同心环具有不同高度。

4.如权利要求1或2所述的处理腔室，其中所述反射涂层包括银、金或铝。

5.如权利要求1或2所述的处理腔室，其中所述同心环各具有在2.5毫米至35毫米的范围内的厚度。

6.如权利要求1或2所述的处理腔室，其中耦接到所述基板支撑件的支撑轴被设置成通过所述多个同心环的最内部环的中心，且其中所述支撑轴由石英形成并且含有空腔于所述支撑轴中。

7.如权利要求1或2所述的处理腔室，其中所述聚光组件进一步包括多个折射元件，所述多个折射元件设置在相邻的同心环之间。

8.如权利要求7所述的处理腔室，其中所述折射元件包括凸透镜或凹透镜。

9.如权利要求7所述的处理腔室，其中所述折射元件包括菲涅尔透镜，且其中所述灯定位在所述腔室主体的处理区域的外部。

10.一种处理腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体包括光学透明拱形结构；

基板支撑件，所述基板支撑件设置在所述腔室主体内，所述基板支撑件具有从所述基板支撑件延伸的支撑轴；

多个灯，所述多个灯设置成相邻于所述光学透明拱形结构；及

聚光组件，所述聚光组件位于所述腔室主体内在所述光学透明拱形结构与所述基板支撑件之间，所述聚光组件接触所述光学透明拱形结构的上表面，且所述聚光组件适用于影响从所述多个灯发射的辐射能量，

其中所述聚光组件包括多个同心环，所述同心环包括石英；并且

所述同心环含有空腔于所述同心环中，所述空腔的内壁具有反射涂层于所述内壁上。

11.如权利要求10所述的处理腔室，其中：

所述支撑轴包括空腔于所述支撑轴中。

12.如权利要求11所述的处理腔室，其中所述聚光组件进一步包括多个折射元件，所述多个折射元件设置在相邻的同心环之间，且其中所述折射元件包括凹透镜或凸透镜。

13.如权利要求11所述的处理腔室，其中所述聚光组件进一步包括多个折射元件，所述多个折射元件设置在相邻的同心环之间，且其中所述折射元件包括菲涅尔透镜。

14.一种光学组件，包括：

多个同心环，所述多个同心环由光学透明材料形成，每一同心环具有空腔于所述同心环中；及

反射材料，所述反射材料设置在所述空腔内。