[实用新型]一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈有效
申请号: | 201320740351.7 | 申请日: | 2013-11-20 |
公开(公告)号: | CN203546207U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 段聪;赵梅玉;高宇;邓树军;陶莹 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 071000 河北省保定市北二*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈,包括线圈(1)和水路接头(2);所述线圈(1)为横截面是矩形的多层螺旋盘管状;所述水路接头(2)有两个分别焊接在所述线圈(1)两端的伸出部分。本实用新型提供一种可以生长高品质大尺寸的碳化硅晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 碳化硅 晶体生长 感应 线圈 | ||
【主权项】:
一种大尺寸碳化硅晶体生长的感应线圈,其特征在于:包括线圈(1)和水路接头(2);所述线圈(1)为横截面是矩形的多层螺旋盘管状;所述水路接头(2)有两个分别焊接在所述线圈(1)两端的伸出部分。
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