[实用新型]一种图形化的蓝宝石衬底有效
| 申请号： | 201320703572.7 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN203589067U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 桂宇畅 | 申请（专利权）人： | 华灿光电(苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/10 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 215600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种图形化的蓝宝石衬底，属于半导体领域。所述蓝宝石衬底包括衬底层，所述蓝宝石衬底还包括反射层，所述衬底层的图形化表面上形成有多个凸起，所述反射层沉积在所述多个凸起的顶部，所述多个凸起和所述反射层在所述衬底层上构成周期性图形阵列，所述周期性图形阵列的图形单元为锥状结构。本实用新型通过在图形化的蓝宝石衬底的衬底层上设置反射层，使得生长其上的外延片的氮化镓层与蓝宝石衬底的折射率相差较大，因此，光在蓝宝石衬底的界面上不易被透射更易被反射，改善了蓝宝石衬底的反射率，且蓝宝石衬底采用锥状结构，能更有效地降低外延片的缺陷密度，从而提高了发光二极管的光提取效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 | ||
【主权项】：
一种图形化的蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底包括衬底层，其特征在于，所述蓝宝石衬底还包括反射层，所述衬底层的图形化表面上形成有多个凸起，所述反射层沉积在所述多个凸起的顶部，所述多个凸起和所述反射层在所述衬底层上构成周期性图形阵列，所述周期性图形阵列的图形单元为锥状结构。
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