[实用新型]一种图形化的蓝宝石衬底有效
申请号: | 201320703572.7 | 申请日: | 2013-11-08 |
公开(公告)号: | CN203589067U | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 桂宇畅 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/10 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 215600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 图形 蓝宝石 衬底 | ||
1.一种图形化的蓝宝石衬底,所述蓝宝石衬底包括衬底层,其特征在于,
所述蓝宝石衬底还包括反射层,所述衬底层的图形化表面上形成有多个凸起,所述反射层沉积在所述多个凸起的顶部,所述多个凸起和所述反射层在所述衬底层上构成周期性图形阵列,所述周期性图形阵列的图形单元为锥状结构。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述反射层为二氧化硅层。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述反射层为分布布拉格反射镜层。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述分布布拉格反射镜层为交替生长的二氧化硅层和二氧化钛层或交替生长的二氧化硅层和氧化镁层。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述锥状结构为圆锥结构和多棱锥结构中的一种或多种。
6.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石衬底,其特征在于,相邻的所述图形单元之间的间距为1~10um。
7.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述图形单元的底面宽度为0.5~10um。
8.根据权利要求1-5任一项所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述图形单元的高度为0.5~5um。
9.根据权利要求7所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述凸起的高度为0.2~4.8um。
10.根据权利要求7所述的蓝宝石衬底,其特征在于,所述反射层的厚度为0.2~4.8um。
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