[实用新型]沉积设备以及旋转装置

摘要

本实用新型涉及沉积设备，该沉积设备包括反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；用于带动所述旋转台转动的旋转装置，所述旋转装置包括：支撑座、筒状外壳以及旋转支撑轴，所述筒状外壳一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔，所述旋转支撑轴套设在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并与所述反应腔中的所述旋转台连接，所述筒状外壳内嵌设有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括一对配合使用的定子和转子，所述定子安装于所述筒状外壳的内壁，所述转子安装于所述旋转支撑轴上。本实用新型还提供一种旋转装置。本实用新型的所述旋转驱动机构可以设置于所述筒状外壳内，结构简单，安装、维护方便。

主权项

一种沉积设备，包括： 反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；用于带动所述旋转台转动的旋转装置，所述旋转装置包括， 支撑座； 筒状外壳，其一端连接所述支撑座上，另一端连接所述反应腔；以及 用以带动所述旋转台转动的旋转支撑轴，其套设在所述筒状外壳内，并能够相对所述筒状外壳转动，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并与所述反应腔中的所述旋转台连接，其特征在于： 所述筒状外壳内嵌设有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括一对配合使用以驱动所述旋转支撑轴转动的定子和转子，所述定子安装于所述筒状外壳的内壁，所述转子安装于所述旋转支撑轴上。